[发明专利]加热管道及半导体制造设备

权利要求书

1.一种加热管道，其特征在于，包括：

内管以及包覆所述内管外壁的加热结构；

所述加热结构用于通电后加热所述内管，所述加热结构为碳纤维编织丝。

2.根据权利要求1任一项所述的加热管道，其特征在于，所述碳纤维编织丝的直径为20mm-40mm。

3.根据权利要求1或2所述的加热管道，其特征在于，所述碳纤维编织丝的排布方式为交错式全编织排布。

4.根据权利要求3所述的加热管道，其特征在于，所述碳纤维编织丝在所述内管外壁呈网格状分布，且每一网格的面积为1mm²-25mm²。

5.根据权利要求1或2所述的加热管道，其特征在于，所述碳纤维编织丝的排布方式为绕所述内管外壁螺旋式均匀缠绕。

6.根据权利要求5所述的加热管道，其特征在于，在沿内管延伸方向上，相邻所述碳纤维编织丝的间隔为1mm-5mm。

7.根据权利要求1所述的加热管道，其特征在于，所述内管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅。

8.根据权利要求1所述的加热管道，其特征在于，还包括：绝缘管，所述绝缘管包覆所述内管外壁，所述绝缘管位于所述内管与所述加热结构之间。

9.根据权利要求8所述的加热管道，其特征在于，所述绝缘管的材料包括石英、石棉、云母、玻璃、陶瓷或者聚四氟乙烯。

10.根据权利要求1所述的加热管道，其特征在于，还包括：功能管，所述功能管包覆所述加热结构，所述加热结构位于所述内管与所述功能管之间；所述功能管包括保温管、热反射管或者外管中的至少一种。

11.根据权利要求10所述的加热管道，其特征在于，所述外管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅；优选的，所述外管的材料与所述内管的材料相同。

12.一种半导体制造设备，其特征在于，包括：如权利要求1-10任一项所述的加热管道。

13.如权利要求12所述的半导体制造设备，其特征在于，还包括：电源装置，用于向所述加热结构供电。

14.如权利要求13所述的半导体制造设备，其特征在于，还包括：测温装置，用于测量所述内管的温度；控制装置，用于基于所述测温装置测量的温度，调整所述电源装置向所述加热结构供电的电压。