[发明专利]加热管道及半导体制造设备

说明书

本发明涉及一种加热管道以及半导体制造设备，加热管道包括：内管以及包覆所述内管外壁的加热结构；所述加热结构用于通电后加热所述内管，所述加热结构为碳纤维编织丝。本发明在有效的对内管进行加热的同时，提升维护效率，节省生产成本。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种加热管道及半导体制造设备。

背景技术

在半导体制造工艺中，半导体薄膜沉积工艺是关键的生产技术。在半导体薄膜沉积工艺中，需要使用管道将气态前驱体导入反应腔，在导入过程中需要保持管道内部较高温度。在管道外部加装加热装置成为半导体薄膜沉积工艺中的常用手段。

在管道外部加装的加热装置，通常为多个加热块衔接而成。首先，在进行管道维护时，会使用酸液对管道进行清洗，这就需要将加热装置去除，将管道浸入酸液中，清洗完毕后，还有将加热装置装上，这一维护过程占用了大量的维护时间；其次，为了提升管道的加热效果，还会在加热装置外部包覆保温棉，而加热过程中，保温棉由于加热块温度的影响，会融化粘附在加热块上，这就需要时常更换新保温棉并去除加热块上粘附的保温棉，这一维护过程十分繁琐，造成了大量的人力和物力的浪费。

为此，亟需一种加热管道，在有效的对管道内气态前驱体进行加热的同时，提升维护效率，节省生产成本。

发明内容

本发明解决的技术问题为如何在保证有效的对加热管道进行加热的同时，提升维护效率。

为解决上述技术问题，本发明提供一种加热管道，包括：内管以及包覆所述内管外壁的加热结构；所述加热结构用于通电后加热所述内管，所述加热结构为碳纤维编织丝。

在其中一个实施例中，所述碳纤维编织丝的直径为20mm-40mm。

在其中一个实施例中，所述碳纤维编织丝的排布方式为交错式全编织排布。

在其中一个实施例中，所述碳纤维编制丝在所述内管外壁呈网格状分布，且每一网格的面积为1mm²-25mm²。

在其中一个实施例中，所述碳纤维编织丝的排布方式为绕所述内管外壁螺旋式均匀缠绕。

在其中一个实施例中，在沿内管延伸方向上，相邻所述碳纤维编织丝的间隔为1mm-5mm。

在其中一个实施例中，所述内管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅。

在其中一个实施例中，所述加热管道还包括：绝缘管，所述绝缘管包覆所述内管外壁，所述绝缘管位于所述内管与所述加热结构之间。

在其中一个实施例中，所述绝缘管的材料包括石英、石棉、云母、玻璃、陶瓷或者聚四氟乙烯。

在其中一个实施例中，所述加热管道还包括：功能管，所述功能管包覆所述加热结构，所述加热结构位于所述内管与所述功能管之间；所述功能管包括保温管、热反射管或者外管中的至少一种。

在其中一个实施例中，所述外管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅；优选的，所述外管的材料与所述内管的材料相同。

本发明还提供一种半导体制造设备，包括上述加热管道。

与现有技术相比，本发明提供的技术方案具有以下优点：

本发明实施例提供的加热管道，包括：内管以及包覆所述内管外壁的加热结构；所述加热结构用于通电后加热所述内管，所述加热结构为碳纤维编织丝。如此，利用了碳纤维编织丝的耐腐蚀性，采用碳纤维编织丝包覆内管，在通电后用于加热内管，避免了维护加热管道时酸液腐蚀加热结构，提高了维护效率，节省了生产成本。