[发明专利]一种三甲基铟低温提纯装置及低温提纯方法

权利要求书

1.一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：包括提纯原料釜、接收罐、真空保护装置和真空泵，提纯原料釜内装有固体三甲基铟物料，所述提纯原料釜上连接有高纯载气管路，高纯载气经由该高纯载气管路进入提纯原料釜中，该提纯原料釜通过一伴热管与所述接收罐连接，所述接收罐又通过一尾气管与所述真空保护装置连接，该真空保护装置通过一抽真空管与所述真空泵连接，所述提纯原料釜连接有低温加热装置，所述伴热管上绕设有电加热管，所述接收罐内设有冷凝装置，所述真空保护装置包括冷阱和杜瓦罐，该冷阱设置于杜瓦罐内，冷阱与杜瓦罐之间设置有液氮，所述尾气管与所述冷阱连接，冷阱通过所述抽真空管与所述真空泵连接。

2.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述提纯原料釜上设有用于测试提纯原料釜内压力的压力表。

3.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述提纯原料釜内设有用于测试提纯原料釜内温度的提纯釜内温度计。

4.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述接收罐内设有用于测试接收罐内温度的接收罐内温度计。

5.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述接收罐的底部设有电子秤。

6.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述高纯载气管路上设有控制阀。

7.利用权利要求1-6任一项所述的三甲基铟低温提纯装置进行低温提纯的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将装置的提纯原料釜和接收罐置于惰性气体手套箱内，将固体三甲基铟物料装入提纯原料釜内，并对提纯原料釜进行密封，向杜瓦罐内注入液氮；

(2)将冷凝装置的冷却介质进口与冷却介质出口连接到外部冷却设备上，利用冷凝装置将接收罐内的温度控制在-30～30℃；

(3)开启真空泵，对提纯原料釜进行抽真空，控制提纯原料釜内的压力小于50torr；

(4)低温加热装置对提纯原料釜进行低温加热，加热温度控制在30～80℃，控制阀打开，高纯载气经由高纯载气管路进入提纯原料釜中，在真空和低温加热条件下，高纯载气带动三甲基铟物料经由伴热管进入接收罐内，经过冷凝装置冷却，得到提纯后的三甲基铟，高纯载气携带无法被冷凝装置冷却的有机杂质进入冷阱内，经过冷阱和杜瓦罐之间的液氮冷却，被吸附留存在冷阱内。

8.根据权利要求7所述的低温提纯方法，其特征在于：接收罐底部设有的电子秤对接收罐内的物料进行称量。

9.根据权利要求7所述的低温提纯方法，其特征在于：所述高纯载气进入提纯原料釜的流量为100L/h-300L/h。

10.根据权利要求7所述的低温提纯方法，其特征在于：所述高纯载气为高纯氢气、高纯氮气、高纯氦气、高纯氩气中的一种。