[发明专利]掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法

说明书

本公开涉及一种掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法。掩膜版包括：图案区域和位于所述图案区域的边缘的第二肋，图案区域包括：多个开口，相邻的开口通过第一肋隔开；其中，所述多个开口中的至少一个开口具有非平直的侧边、与所述非平直的侧边相交的两个第一平直侧边和位于所述非平直的侧边的对侧、且与所述第一平直侧边相交的第二平直侧边，在所述第二肋上设有用于对所述非平直的侧边进行拉伸变形补偿的开孔，所述两个第一平直侧边沿第一方向向所述第二肋延伸的延伸线与所述第二肋相交得到第一区域，所述开孔至少位于所述第一区域内，所述第一方向与所述第一平直侧边平行，与所述第一方向垂直的第二方向与所述第二平直侧边平行。

技术领域

本公开涉及显示元件设计及制造领域，尤其涉及一种掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法。

背景技术

异形屏是指显示区域存在不规则或不对称的显示屏，例如显示屏的上边缘与下边缘不对称。在异形屏的制造过程中，相关技术中使用具有对应的异形开口区域的支撑掩膜版将发光材料以蒸镀的方式沉积在基板的对应位置。

发明内容

发明人经研究发现，相关技术中的支撑掩膜版受限于开口区域的形状的不规则形和较低的制造精度，在受拉伸并焊接到掩膜装置的框架时，支撑掩膜版上的异形开口区域容易偏离设计位置，而造成蒸镀精度降低，进而导致制造的显示屏显示混色等不良状况。

有鉴于此，本公开实施例提供一种掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法，能够在掩膜版被拉伸时，减少掩膜版的开口区域的不均匀变形。

在本公开的一个方面，提供一种掩膜版，包括：

图案区域，包括：

多个开口，相邻的开口通过第一肋隔开；和

第二肋，位于所述图案区域的边缘；

其中，所述多个开口中的至少一个开口具有非平直的侧边、与所述非平直的侧边相交的两个第一平直侧边和位于所述非平直的侧边的对侧、且与所述第一平直侧边相交的第二平直侧边，在所述第二肋上设有用于对所述非平直的侧边进行拉伸变形补偿的开孔，所述两个第一平直侧边沿第一方向向所述第二肋延伸的延伸线与所述第二肋相交得到第一区域，所述开孔至少位于所述第一区域内，所述第一方向与所述第一平直侧边平行，与所述第一方向垂直的第二方向与所述第二平直侧边平行。

在一些实施例中，所述多个开口按照阵列分布，每列开口中的部分或全部开口具有大致沿第二方向延伸的所述非平直的侧边，所述第二方向与所述阵列的行方向平行，所述第二肋上对应于每列开口的第一区域内均设有所述开孔。

在一些实施例中，所述多个开口的形状和尺寸均相同，且所述多个开口中的所述第一平直侧边均与所述第一方向平行，所述第一方向与所述阵列的列方向平行，所述第二肋上对应于每列开口的第一区域设置的所述开孔的数量、形状和尺寸均相同。

在一些实施例中，所述非平直的侧边在所述第二方向上的长度小于每个所述第一平直侧边的长度，并与所述第二平直侧边的长度相等。

在一些实施例中，所述非平直的侧边包括：两个平直段和相对于所述平直段向所述开口的内侧凹入的凹陷段，所述凹陷段的两端分别与所述两个平直段连接，所述开孔相对于所述凹陷段的中心线对称，所述凹陷段的中心线与所述第一方向平行。

在一些实施例中，所述凹陷段位于所述非平直的侧边的中间位置。

在一些实施例中，所述凹陷段呈折线形或圆弧形。

在一些实施例中，位于所述第二肋的开孔在所述第二方向上的长度小于所述非平直的侧边在所述第二方向上的长度，且大于所述凹陷段在所述第二方向上的长度。

在一些实施例中，位于所述第二肋的开孔在所述第二方向上的长度为40～60mm，所述凹陷段在所述第二方向的长度为3～35mm。