[发明专利]陶瓷加热器以及筒状轴的制法

权利要求书

1.一种陶瓷加热器，具备陶瓷制的板和陶瓷制的筒状轴，上述板具有载置晶片的晶片载置面并内置有电阻发热体，上述筒状轴的一端与上述板的背面接合，上述背面是上述晶片载置面的相反侧的面，上述陶瓷加热器的特征在于，

上述筒状轴的纵截面的形状是具备至少在一处具有S字形部分或者拐点的弯曲部分的形状，上述筒状轴具有从上述筒状轴的上述一端贯通至另一端且轴线沿上述筒状轴的上述纵截面的形状的贯通孔，

上述贯通孔是上述筒状轴的内周壁与外周壁之间的筒状空间，上述筒状空间的横截面的形状是与上述筒状轴的横截面呈同心圆的环状，在上述筒状空间设有将上述内周壁与上述外周壁局部地连结的连结部。

2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其特征在于，

上述贯通孔是气体供给孔或者抽真空孔，

上述板具有与上述贯通孔连通并在厚度方向上贯通上述板的气体流通孔。

3.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其特征在于，

上述贯通孔是热电偶配置孔，

上述板具有与上述热电偶配置孔连通并在上述板的内部具有底部的有底孔。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的陶瓷加热器，其特征在于，

上述筒状轴的壁厚即从该筒状轴的内周壁至外周壁的长度为10mm以下。