[发明专利]一种工作台设备及工作台垂向清零误差的测量方法

权利要求书

1.一种工作台设备，其特征在于，包括：投影物镜、主基板、工作台、控制器和垂向测量系统；所述垂向测量系统包括至少两个垂向测量器；

所述工作台位于所述主基板的一侧；所述投影物镜固定于所述主基板，用于将所述投影物镜输出的光线投射至所述工作台；所述工作台可在平行于所述主基板的方向上和垂直于所述主基板的方向上移动；

每个所述垂向测量器包括对应设置的光线发射器和光线接收器，设置于所述主基板靠近所述工作台的一侧；在垂直于所述主基板的平面内，对应设置的所述光线发射器和光线接收器均设置于所述投影物镜的浸没头的同一侧；所述光线接收器用于接收对应光线发射器发射的，并经所述工作台上第一测量点或第二测量点反射的测量光线，以使不同的所述垂向测量器分别获取所述第一测量点和第二测量点的垂向高度；所述控制器用于根据所述第一测量点垂向高度和第二测量点的垂向高度获取所述工作台在垂向位置清零后的垂向清零误差。

2.根据权利要求1所述的工作台设备，其特征在于，所述垂向测量系统包括两个垂向测量器：第一垂向测量器和第二垂向测量器；

所述第一垂向测量器包括对应设置的第一光线发射器和第一光线接收器；在垂直于所述主基板的第一平面内，第一光线发射器和第一光线接收器均设置于所述投影物镜的浸没头的一侧；

所述第二垂向测量器包括对应设置的第二光线发射器和第二光线接收器；在垂直于所述主基板的第二平面内，所述第二光线发射器和所述第二光线接收器均设置于所述投影物镜的浸没头的一侧；

所述第一垂向测量器用于获取所述第一测量点的垂向高度，所述第二垂向测量器用于获取所述第二测量点的垂向高度。

3.根据权利要求2所述的工作台设备，其特征在于，所述第一平面和所述第二平面重合；

所述第一垂向测量器和所述第二垂向测量器分别设置于所述投影物镜的浸没头的相对两侧。

4.根据权利要求1所述的工作台设备，其特征在于，还包括：工作台测量框架，横向位置测量系统和垂向位置测量系统；

所述工作台测量框架设置于所述主基板靠近所述工作台的一侧；

所述横向位置测量系统设置于所述工作台测量框架上，用于发送平行于所述主基板的横向光线至所述工作台，以获取所述工作台在平行于所述主基板所在平面的横向位置；

所述垂向位置测量系统设置于所述主基板靠近所述工作台的一侧，用于发送垂直于所述主基板的方向上的垂向光线至所述工作台，以获取所述工作台在垂直于所述主基板的方向上的垂向位置。

5.根据权利要求1所述的工作台设备，其特征在于，所述工作台上设置有至少两个凸起的基准板；

所述第一测量点和所述第二测量点分别位于不同的基准板上。

6.一种工作台垂向清零误差的测量方法，其特征在于，适用于权利要求1至5任一项所述的工作台设备，包括：

从工作台靠近主基板的一侧选取第一测量点和第二测量点；

移动所述工作台，控制所述第一测量点位于与所述第一测量点对应的垂向测量器的光线发射器的焦平面上；并获取所述第一测量点的垂向高度；

移动所述工作台，控制所述第二测量点位于与所述第二测量点对应的垂向测量器的光线发射器的焦平面上，并获取所述第二测量点的垂向高度；

根据所述第一测量点和所述第二测量点的垂向高度，获取所述工作台在垂向位置清零后的垂向清零误差。