[发明专利]一种感光性树脂组合物及其用途

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，该树脂组合物包括40-70重量份的碱可溶性树脂、20-50重量份的光聚合单体、0.5-10.0重量份光引发剂和0.1-10.0重量份添加剂；所述添加剂包括0.1-8.0重量份的含有碳酸酯结构的增塑剂；其中，所述含有碳酸酯结构的增塑剂的结构式如通式（1）所示：

，

其中，R1和R2分别独立地选自C1-C10的直链或支链烷基、C3-C10的环烷基、C4-C10的烷基环烷基或环烷基烷基、苄基、C6-C10的芳基、C4-C10的杂芳基、C2-C10的杂环基、或C2-C20的含酯基基团；并且，上述基团中的非环-CH₂-可任选地被-O-、-CO-、-NH-、-S-或1 ,4-亚苯基所取代。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式（1）中R1和R2分别独立地选自苯基、苄基、C6-C10的芳基、C4-C10的杂芳基、碳原子数为C4-C10的直链或支链烷基，这些基团中的非环-CH2-可任选地被-O-、-CO-、-NH-、-S-或1 ,4-亚苯基所取代。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述含有碳酸酯结构的增塑剂为1.0-6.0重量份。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂由甲基丙烯酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基已酯、（甲基）丙烯酸-2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯乙烯、苯乙烯衍生物中的两种或两种以上的共聚而成。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂的重均分子量为20000-150000，树脂酸值为100-350mg KOH/g。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光聚合单体包含(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、壬基苯酚丙烯酸酯，乙氧化(丙氧化)壬基苯酚丙烯酸酯、异冰片酯、丙烯酸四氢呋喃甲酯、双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)双酚A二(甲基) 丙烯酸酯、聚乙二醇(丙二醇)二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)新戊二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光引发剂选自2-(邻氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻氯苯基)-4,5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(邻氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(对甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物，此外，还可以用噻吨酮、苯偶姻苯基醚、二苯甲酮、苯偶姻甲基醚、N,N'-四甲基-4,4'-二氨基二苯甲酮、N,N'-四乙基-4,4'-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4'-二甲基氨基二苯甲酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮、2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1,4-萘醌、9,10-菲醌、2,3-二甲基蒽醌、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香苯基醚、苯偶酰二甲基缩酮苯偶酰衍生物、9-苯基吖啶、1,7-二(9,9'-吖啶基)庚烷吖啶衍生物、N-苯基甘氨酸、香豆素系化合物、恶唑系化合物中的一种或多种。

8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光引发剂选自2,2’,4-三(2-氯苯基)-5-(3,4-二甲氧基苯基)-4’,5’-二苯基-1,1’-二咪唑。

9.一种权利要求1-8中任一项所述的感光性树脂组合物用作干膜抗蚀剂的用途。