[发明专利]一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺有效
申请号: | 201910805965.0 | 申请日: | 2019-08-29 |
公开(公告)号: | CN110534437B | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 宗荣生;戴赟彬;白艳;侯广西;蒋超 | 申请(专利权)人: | 宜兴市三鑫电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 蒋何栋 |
地址: | 214241 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 igbt 模块 新型 制备 工艺 | ||
1.一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述IGBT模块包括衬板(2)、基板(1)、母排(5)、电极(4)、半导体芯片(3)和外壳,所述衬板(2)上固定连接有若干定位筒(6),所述定位筒(6)内开凿有柱形孔,所述柱形孔下端壁上固定连接有导电块(8),且导电块(8)下端与衬板(2)上的电路连接,所述母排(5)和电极(4)的引脚和端子处均固定连接有导电针(7),且导电针(7)分别与母排(5)和电极(4)一体成型,所述IGBT模块的制备工艺包括以下步骤:
步骤一、原材准备:衬板(2)按照设计电路拓扑在表面刻蚀出电路版图,确定半导体芯片(3)、母排(5)和电极(4)的位置;
步骤二、元件检查:分别检查衬板(2)、基板(1)、母排(5)、电极(4)、半导体芯片(3)和外壳,确保合格后进入步骤三,否则更换合格的元件;
步骤三、第一次焊接:将半导体芯片(3)预先焊接在衬板(2)上,得到衬板(2)组件;
步骤四、第二次焊接:将衬板(2)组件焊接至基板(1)上,得到基板(1)组件;
步骤五、元件装配:将焊膏滴加至定位筒(6)中,将母排(5)和电极(4)上的导电针(7)按照设计位置对准插入,实现初定位后得到IGBT模块胚体;
步骤六、第三次焊接:将IGBT模块胚体送进隧道炉的进口,将隧道炉履带的运转速度设定为0.003-0.005m/s,控制隧道炉焊接段温度在220-350℃范围内,在焊接全程中需通氮气保护,进行回流焊接,从隧道炉出口取出IGBT模块胚体;
步骤七、X光探测:用X光扫描仪对焊接好的IGBT模块胚体进行探测,剔除空洞率不符合要求的胚体;
步骤八、外壳安装:将IGBT模块胚体与外壳和其它结构件按要求组装、整理;
步骤九、灌胶保护:通过外壳上的注入口,向IGBT模块胚体中灌注硅凝胶;
步骤十、高温老化:在120-150℃温度范围内,进行12-24h的老化;
步骤十一、端子成型:将引出的电极(4)端子折弯、整形、固定,得到IGBT模块成品;
步骤十二、测试出厂:对IGBT模块成品测试后进行标示包装。
2.根据权利要求1所述的一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述导电块(8)上端开凿有半球电连槽(9),所述导电针(7)包括延伸部(71)和半球连接部(72),且半球连接部(72)与半球电连槽(9)相匹配,所述延伸部(71)和半球电连槽(9)之间涂覆有焊膏层(10)。
3.根据权利要求2所述的一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述半球电连槽(9)的半径与导电块(8)的长度比为1∶1.2-1.5。
4.根据权利要求2所述的一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述延伸部(71)与半球连接部(72)的长度比为1∶0.4-2。
5.根据权利要求2所述的一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述导电针(7)位于定位筒(6)内的部分与定位筒(6)的长度比为1∶1.2-1.4,所述导电针(7)位于定位筒(6)外的部分与导电针(7)的长度比为1∶5-6。
6.根据权利要求1所述的一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述第一次焊接时半导体芯片(3)采用焊片、钼片和焊片的形式进行焊接,所述半导体芯片(3)包括IGBT芯片和FWD芯片。
7.根据权利要求1所述的一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述第二次焊接时衬板(2)组件直接采用焊片焊接至基板(1)上。
8.根据权利要求1所述的一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述隧道炉焊接段依次包括预热阶段、焊接阶段和保温阶段,所述预热阶段、焊接阶段和保温阶段的长度比为1∶5-10∶1-2。
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