[发明专利]湿度感测器及其制造方法

权利要求书

1.一种湿度感测器，其特征在于，包含：

一基板；

一电极结构，设置于该基板上，包含彼此分离的一第一电极层和一第二电极层；以及

一湿度感测结构，设置于该电极结构的该第一电极层和该第二电极层上，其中该湿度感测结构包含：

一第一湿度感测层，直接接触该电极结构，并具有一第一氧缺陷数；以及

一第二湿度感测层，设置于该第一湿度感测层上，并具有一第二氧缺陷数，其中该第二氧缺陷数多于该第一氧缺陷数。

2.如权利要求书1所述的湿度感测器，其特征在于，其中该湿度感测结构更包含一第三湿度感测层，该第三湿度感测层设置于该第二湿度感测层上并具有一第三氧缺陷数，该第三氧缺陷数多于该第二氧缺陷数。

3.如权利要求书1所述的湿度感测器，其特征在于，其中该第一湿度感测层及该第二湿度感测层包含具有一ABO₃结构的钙钛矿型氧化物。

4.如权利要求书1所述的湿度感测器，其特征在于，其中该电极结构具有一指叉式结构。

5.一种制造湿度感测器的方法，其特征在于，包含以下步骤：

提供一基板及一电极结构，其中该电极结构包含彼此分离的一第一电极层和一第二电极层并位于该基板上；以及

形成一湿度感测结构于该电极结构的该第一电极层和该第二电极层上，包含：

在一第一烧结温度下形成一第一湿度感测层，其中第一湿度感测层直接接触该电极结构并具有一第一氧缺陷数；以及

在一第二烧结温度下形成一第二湿度感测层于该第一湿度感测层上，其中该第二烧结温度低于该第一烧结温度，以使得该第二湿度感测层的一第二氧缺陷数多于该第一氧缺陷数。

6.如权利要求书5所述的方法，其特征在于，更包含以下步骤：

在一第三烧结温度下形成一第三湿度感测层于该第二湿度感测层上，其中该第三烧结温度低于该第二烧结温度，以使得该第三湿度感测层的一第三氧缺陷数多于该第二氧缺陷数。

7.如权利要求书5所述的方法，其特征在于，其中该第一湿度感测层及该第二湿度感测层包含具有一ABO₃结构的钙钛矿型氧化物。

8.如权利要求书5所述的方法，其特征在于，其中该第一烧结温度为300℃至700℃。

9.如权利要求书5所述的方法，其特征在于，其中该第二烧结温度为200℃至600℃。

10.如权利要求书6所述的方法，其特征在于，其中该第三烧结温度为100℃至500℃。