[发明专利]湿度感测器及其制造方法

说明书

本发明提供一种湿度感测器及其制造方法。湿度感测器包含一基板、一电极结构及一湿度感测结构。电极结构设置于基板上。湿度感测结构设置于电极结构上。湿度感测结构包含第一湿度感测层及第二湿度感测层。第一湿度感测层直接接触电极结构并具有一第一氧缺陷数。第二湿度感测层设置于第一湿度感测层上并具有一第二氧缺陷数，其中第二氧缺陷数多于第一氧缺陷数。本发明的湿度感测器具有良好的灵敏度，能够在制程中更精细地监控车间的环境湿度。

技术领域

本发明系关于一种湿度感测器及其制造方法。

背景技术

在移动通话装置的贴合或点胶的制程中，制程车间的环境湿度影响对产品良率的影响相当大。因此若能够在上述制程中随时监控车间的环境湿度，制程人员就能据以调整环境湿度，以使得制程顺利进行。然而传统湿度感测器所能量测的阻抗值变化通常仅为2至3个数量级，并不足以提供上述需求。因此目前需要一种灵敏度更高的湿度感测器。

发明内容

本发明的一态样系提供一种湿度感测器。湿度感测器包含一基板、一电极结构及一湿度感测结构。电极结构设置于基板上。湿度感测结构设置于电极结构上。湿度感测结构包含第一湿度感测层及第二湿度感测层。第一湿度感测层直接接触电极结构并具有一第一氧缺陷数。第二湿度感测层设置于第一湿度感测层上并具有一第二氧缺陷数，其中第二氧缺陷数多于第一氧缺陷数。

在一或多个实施方式中，湿度感测结构更包含一第三湿度感测层。第三湿度感测层设置于第二湿度感测层上并具有一第三氧缺陷数，其中第三氧缺陷数多于第二氧缺陷数。

在一或多个实施方式中，第一湿度感测层及第二湿度感测层包含具有ABO₃结构的钙钛矿型氧化物(perovskite-type oxide materials)。

在一或多个实施方式中，电极结构具有一指叉式结构。

本发明的另一态样系提供一种制造湿度感测器的方法。方法包含以下步骤：提供一基板及一电极结构，其中电极结构位于基板上；以及形成一湿度感测结构于电极结构上。形成一湿度感测结构于电极结构的步骤包含：在一第一烧结温度下形成一第一湿度感测层，其中第一湿度感测层直接接触电极结构并具有一第一氧缺陷数；以及在一第二烧结温度下形成一第二湿度感测层于第一湿度感测层上，其中第二烧结温度低于第一烧结温度，以使得第二湿度感测层的一第二氧缺陷数多于第一氧缺陷数。

在一或多个实施方式中，方法更包含：在一第三烧结温度下形成一第三湿度感测层于第二湿度感测层上，其中第三烧结温度低于第二烧结温度，以使得第三湿度感测层的一第三氧缺陷数多于第二氧缺陷数。

在一或多个实施方式中，第一湿度感测层及第二湿度感测层包含具有ABO₃结构的钙钛矿型氧化物(perovskite-type oxide materials)。

在一或多个实施方式中，第一烧结温度为300℃至700℃。

在一或多个实施方式中，第二烧结温度为200℃至600℃。

在一或多个实施方式中，第三烧结温度为100℃至500℃。

附图说明

为让本发明之上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式之详细说明如下：

图1系根据本发明一实施方式之湿度感测器的制造方法的流程图。

图2至图5系根据本发明一实施方式之湿度感测器的制造方法中各阶段的上视示意图。

图6系沿着图5中的剖线A-A’所绘示之剖面示意图。

图7系沿着图5中的剖线B-B’所绘示之剖面示意图。

附图标记：