[发明专利]电流体动力学印刷装置

权利要求书

1.一种电流体动力学印刷装置，其特征在于，包括：

喷嘴，用于向基板喷射液体；

电压施加部，用于在所述喷嘴和所述基板之间形成电场；及

激光束照射部，用于向基板上的液体喷射位置照射激光束。

2.根据权利要求1所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，所述激光束照射部形成为照射与基板垂直的方向的激光束。

3.根据权利要求2所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，所述喷嘴形成为相对于基板倾斜。

4.根据权利要求1所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，进一步包括所述激光束所通过的狭缝。

5.根据权利要求4所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，进一步具备用于调节所述狭缝的大小的狭缝调节部。

6.根据权利要求5所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，所述狭缝调节部具备：

一对第一移动板，通过在垂直于所述激光束的第一轴向上移动来调整该一对第一移动板之间隔开距离，从而调节所述狭缝的第一轴向宽度；及

一对第二移动板，通过在垂直于所述激光束和所述第一轴向的第二轴向上移动来调整该一对第二移动板之间隔开距离，从而调节所述狭缝的第二轴向宽度。

7.根据权利要求6所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，所述第一移动板和所述第二移动板在所述激光束的照射方向上彼此隔开地配置。

8.根据权利要求4所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，进一步包括：

确认用照明，用于照射确认用光，并使所述确认用光通过所述狭缝到达基板；及

确认用照相机，用于拍摄到达基板的所述确认用光。

9.根据权利要求1所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，所述激光束照射部根据从所述喷嘴喷射的液体的种类，照射不同波长的激光束。

10.根据权利要求1所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，以连续激光的形式照射所述激光束。

11.根据权利要求1所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，以脉冲激光形式照射所述激光束。

12.根据权利要求11所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，照射所述激光束的脉冲和所述喷嘴喷射液体的频率为同步。

13.根据权利要求1所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，进一步包括：聚光透镜部，位于与基板相邻处，用于聚光所述激光束。

14.根据权利要求1所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，进一步包括：第一监控照相机，用于实时监控从所述喷嘴喷射的液体在基板上沉积及固化的过程。

15.根据权利要求14所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，所述第一监控照相机形成为拍摄到在与所述激光束同一线上观看的影像。

16.根据权利要求14所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，在所述第一监控照相机和所述基板之间的光路径上配置有用于过滤部分光的切滤器。

17.根据权利要求14所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，进一步具备：第二监控照相机，具有相对于所述第一监控照相机的光轴倾斜地形成的光轴，用于拍摄比所述第一监控照相机的拍摄区域更宽的区域。

18.根据权利要求1所述的电流体动力学印刷装置，其特征在于，进一步包括：

喷嘴驱动部，用于使所述喷嘴在x轴、y轴及z轴方向上进行移动；及

激光束照射部驱动部，用于使所述激光束照射部在x轴、y轴及z轴方向上进行移动。