[发明专利]电流体动力学印刷装置

说明书

本发明涉及一种电流体动力学印刷装置，其特征在于，包括：喷嘴，用于向基板喷射液体；电压施加部，用于在所述喷嘴和所述基板之间形成电场；及激光束照射部，用于向基板上的液体喷射位置照射激光束。因此，能够精确及稳定地形成微细级别的沉积结构体。

技术领域

本发明涉及一种电流体动力学印刷装置，更为详细地，涉及一种能够稳定形成微细级别的沉积结构体的电流体动力学印刷装置。

背景技术

将液体以液滴形式喷射的喷墨装置在过去主要应用于喷墨打印机，但是最近广泛应用于显示器、印刷电路板、DNA芯片制造工艺等高科技产业。

以往的喷墨装置主要通过压电驱动方式或热驱动方式来将液体以液滴形式喷射。但是，压电驱动方式和热驱动方式的喷墨装置因驱动能量的局限而在将液滴大小的微细化方面存在局限性，而热驱动方式的喷墨装置可能会因热导致材料变形问题。

电流体动力学(EHD；Electrohydrodynamic)印刷装置是为了解决以往喷墨装置的问题而开发的，其为一种利用静电力来喷射液体的装置，该静电力为在喷嘴和基板之间施加电压而产生电位差(potential difference)的静电力。

电流体动力学印刷方法利用将液面通过静电力拉动的力来喷射液体，因此，与以往的印刷方法不同，能够实现纳米级构图，且能够喷射高粘度的液体，而且能够生成均匀的液滴。

但是，如果基板表面不均匀或按位置由不同的材料来构成时，即使从喷嘴中喷射微细级别的液滴，因基板的不同位置的表面能量不同，可能会产生不能保持沉积在基板上的液滴状态的问题。

此外，当在三维上对具有台阶的结构体或对曲面进行印刷时，在边缘等位置上会产生因毛细管流动(capillary flow)等导致的自然流动，从而难以实现精确的构图。

(专利文献1)KR10-1275225 B1

发明内容

本发明的目的是为了解决如上所述的以往问题而提出的，其目的在于提供一种电流体动力学印刷装置，该电流体动力学印刷装置能够保持沉积在基板上的液滴状态，从而能够精确及稳定地形成微细级别的沉积结构体。

本发明所要解决的课题并不局限于前面所提课题，对于未提到的其他课题，本领域技术人员应能从下面的记载中清楚地理解。

所述目的通过本发明的电流体动力学印刷装置来实现，该电流体动力学印刷装置的特征在于，包括：喷嘴，用于向基板喷射液体；电压施加部，用于在所述喷嘴和所述基板之间形成电场；及激光束照射部，用于向基板上的液体喷射位置照射激光束。

优选所述激光束照射部形成为照射与基板垂直的方向的激光束。

优选所述喷嘴形成为相对于基板倾斜。

本发明的电流体动力学印刷装置优选进一步包括所述激光束所通过的狭缝。

本发明的电流体动力学印刷装置优选进一步具备用于调节所述狭缝的大小的狭缝调节部。

所述狭缝调节部可具备：一对第一移动板，通过在垂直于所述激光束的第一轴向上移动来调整该一对第一移动板之间的隔开距离，从而调节所述狭缝的第一轴向宽度；及一对第二移动板，通过在垂直于所述激光束和所述第一轴向的第二轴向上移动来调整该一对第二移动板之间的隔开距离，从而调节所述狭缝的第二轴向宽度。

优选所述第一移动板和所述第二移动板在所述激光束的照射方向上彼此隔开地配置。

本发明的电流体动力学印刷装置优选进一步包括：确认用照明，用于照射确认用光，并使所述确认用光通过所述狭缝到达基板；及确认用照相机，用于拍摄到达基板的所述确认用光。

优选所述激光束照射部根据从所述喷嘴喷射的液体的种类，照射不同波长的激光束。