[发明专利]机台压力泄漏测试方法、装置、存储介质和电子设备

权利要求书

1.一种机台压力泄漏测试方法，其特征在于，包括：

在检测到压力泄漏测试通知指令时，向机台发送第一状态转换指令，以用于将所述机台从生产状态转换为停止派货状态；

若侦测到所述机台已执行完预约产品的制程，则向所述机台发送压力泄露测试指令，以用于将所述机台从所述停止派货状态转换为执行测漏状态；

接收所述机台执行压力泄露测试获得的泄漏测试结果；

若所述泄漏测试结果为正常，则向所述机台发送第二状态转换指令，以用于将所述机台从所述执行测漏状态转换为所述生产状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机台为蚀刻制程机台；所述方法还包括：

若所述泄漏测试结果为不正常，则循环向所述蚀刻制程机台发送所述压力泄露测试指令，直至所述泄漏测试结果为正常或者循环次数达到设定的最大执行次数。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机台为蚀刻制程机台；所述蚀刻制程机台中设置有泄漏测试排程，所述方法还包括：

若侦测到所述泄漏测试排程到期，则向所述蚀刻制程机台发送第一状态转换指令。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机台为薄膜制程机台；所述方法还包括：

若所述泄漏测试结果为不正常，则根据第一指令确定是否向所述薄膜制程机台发送所述压力泄露测试指令。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机台为薄膜制程机台；所述压力泄漏测试通知指令包含工艺配方数据；所述方法还包括：

若所述薄膜制程机台中的工艺配方数据与所述压力泄漏测试通知指令中的工艺配方数据一致，则向所述薄膜制程机台发送第一状态转换指令，以用于将所述薄膜制程机台从生产状态转换为停止派货状态。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机台为薄膜制程机台，所述压力泄漏测试通知指令包括所述压力泄漏测试的测试时间和测试频率；其中，所述在检测到压力泄漏测试通知指令时，向机台发送第一状态转换指令包括：

根据所述测试时间和所述测试频率向所述薄膜制程机台发送所述第一状态转换指令。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

若所述泄漏测试结果为不正常，则生成并发送泄漏报警信号。

8.根据权利要求1至7任一项所述的方法，其特征在于，所述预约产品包括：预约但未到达机台的产品、已到达机台的产品、正在制程中处理的产品以及处理完成未转出的产品。

9.一种机台压力泄漏测试装置，其特征在于，包括：

第一发送单元，用于在检测到压力泄漏测试通知指令时，向机台发送第一状态转换指令，以用于将所述机台从生产状态转换为停止派货状态；

第二发送单元，用于若侦测到所述机台已执行完预约产品的制程，则向所述机台发送压力泄露测试指令，以用于将所述机台从所述停止派货状态转换为执行测漏状态；

接收单元，用于接收所述机台执行压力泄露测试获得的泄漏测试结果；

第三发送单元，还用于若所述泄漏测试结果为正常，则向所述机台发送第二状态转换指令，以用于将所述机台从所述执行测漏状态转换为所述生产状态。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述程序被处理器执行时实现如权利要求1至8中任一项所述的机台压力泄漏测试方法。

11.一种电子设备，其特征在于，包括：

一个或多个处理器；

存储装置，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器实现如权利要求1至8中任一项所述的机台压力泄漏测试方法。