[发明专利]显微球面光谱自动分析仪及应用其的光谱自动分析方法有效

专利信息
申请号: 201910812296.X 申请日: 2019-08-30
公开(公告)号: CN110411717B 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 肖顺东;覃亚 申请(专利权)人: 广东北创光电科技股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 代理人: 高之波;赵春正
地址: 528000 广东省佛山市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显微 球面 光谱 自动 分析 应用 方法
【权利要求书】:

1.光谱自动分析方法,包括显微球面光谱自动分析仪,显微球面光谱自动分析仪包括载物台(1)、光路系统(2)以及光谱分析系统(3),所述载物台(1)位于光路系统(2)的正下方,所述光路系统(2)与光谱分析系统(3)数据连接,其特征在于,还包括对焦装置(4),所述对焦装置(4)包括手动微调机构(41)、自动对焦机构(42)以及控制系统(44),所述自动对焦机构(42)设于手动微调机构(41)的驱动端,所述载物台(1)设于自动对焦机构(42)的驱动端,所述控制系统(44)内镶嵌有样本数据,所述控制系统(44)与光谱分析系统(3)数据连接;还包括以下步骤:

S1、输入样本数据:在所述控制系统(44)处输入一个以上样本数据,形成样本数据库;

S1.1.1、归零;

S1.1.2、样本数据采集:将“归零片”放置载物台(1)上,手动调节直到看到需对焦的光斑,并分别保存白参考数据、暗背景数据保存,最终形成“样本数据”;

S1.2.1、样本拷贝;

S2、自动对焦:所述控制系统(44)根据光路系统(2)的实时数据与样本数据的相对差对驱动件(423)进行实时控制,从而使得驱动件(423)驱动载物台(1)升降实现自动对焦功能;

S2.1、采集:所述载物台(1)持续而缓慢地升降移动,促使焦距不断变化,所述控制系统(44)定点采集光谱分析系统(3)的被测镜片的光斑的实时数据;

S2.2、分析:所述控制系统(44)对采集的实时数据进行分析,并确定最接近的样本数据,将实时数据与最接近样本数据进行比对分析,得出结果;

S2.3、输出:所述控制系统(44)将“分析结果”转化为电信号,对自动对焦机构(42)的驱动件(423)进行控制,促使“实时数据”无限接近“最接近的样本数据”并重合,完成对焦;

S3、光谱分析;

S4、光谱图形。

2.根据权利要求1所述的光谱自动分析方法,其特征在于,所述自动对焦机构(42)包括安装板(421)、滑板(422)以及驱动件(423),所述滑板(422)和驱动件(423)均设于安装板(421)上,所述驱动件(423)与滑板(422)驱动连接,所述载物台(1)安装在滑板(422)上。

3.根据权利要求2所述的光谱自动分析方法,其特征在于,所述手动微调机构(41)包括旋钮(411)、齿轮组(412)以及连接杆(413),所述旋钮(411)通过齿轮组(412)与连接杆(413)传动连接,所述连接杆(413)与安装板(421)驱动连接。

4.根据权利要求3所述的光谱自动分析方法,其特征在于,所述对焦装置(4)还包括固定板(43),所述安装板(421)可升降活动地设于固定板(43),所述固定板(43)上设有开口(431),所述连接杆(413)透过开口(431)与安装板(421)连接。

5.根据权利要求1-4任一所述的光谱自动分析方法,其特征在于,所述光路系统(2)包括入射光路(21)、折射光路(22)以及输出光路(23),所述入射光路(21)和折射光路(22)相互垂直连接且之间设有反射镜(24),所述输出光路(23)设于折射光路(22)的末端,所述输出光路(23)与折射光路(22)之间设有棱镜(25)。

6.根据权利要求5所述的光谱自动分析方法,其特征在于,所述入射光路(21)至输入端向内依次包括第一镜片组(211)、第二镜片组(212)、第三镜片组(213)以及第四镜片组(214)。

7.根据权利要求6所述的光谱自动分析方法,其特征在于,所述折射光路(22)至输入端向内依次包括第五镜片组(221)、第六镜片组(222)、第七镜片组(223)。

8.根据权利要求7所述的光谱自动分析方法,其特征在于,所述光路系统(2)还包括目镜组件(26)、物镜组件(27),所述物镜组件(27)和目镜组件(26)分别安装在入射光路(21)的两端。

9.根据权利要求8所述的光谱自动分析方法,其特征在于,所述光谱分析系统(3)包括分析器(31)和数据处理装置(32),所述分析器(31)与输出光路(23)的输出端数据连接,所述分析器(31)与数据处理装置(32)数据连接,所述目镜组件(26)与数据处理装置(32)数据连接。

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