[发明专利]显微球面光谱自动分析仪及应用其的光谱自动分析方法有效

专利信息
申请号: 201910812296.X 申请日: 2019-08-30
公开(公告)号: CN110411717B 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 肖顺东;覃亚 申请(专利权)人: 广东北创光电科技股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 代理人: 高之波;赵春正
地址: 528000 广东省佛山市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显微 球面 光谱 自动 分析 应用 方法
【说明书】:

发明公开一种显微球面光谱自动分析仪及应用其的光谱自动分析方法。自动分析仪包括载物台、光路系统、光谱分析系统以及对焦装置,所述对焦装置包括手动微调机构、自动对焦机构以及控制系统,所述载物台设于对焦装置的驱动端,所述控制系统内组件有数据库,所述控制系统与光谱分析系统数据连接,对焦装置配置为根据光路系统的实时数据与样本数据的相对差值对实现自动对焦。本发明提供一种显微球面光谱自动分析仪,其能够对被测镜片实现自动对焦、自动分析功能。本发明能够根据样品的光斑成像情况实时的进行自动聚焦,减小了光谱信号波动;聚焦过程自动完成,无需专业人员参与,提高光谱分析的操作效率,降低光谱分析的操作门槛。

技术领域

本发明涉及显微球面光谱分析仪器,特别涉及一种显微球面光谱自动分析仪和一种光谱自动分析方法。

背景技术

根据现代光谱仪器的工作原理,光谱仪可以分为两大类:经典光谱仪和新型光谱仪。经典光谱仪器是建立在空间色散原理上的仪器;新型光谱仪器是建立在调制原理上的仪器。经典光谱仪器都是狭缝光谱仪器。调制光谱仪是非空间分光的,它采用圆孔进光根据色散组件的分光原理,光谱仪器可分为:棱镜光谱仪,衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪。

无论是经典光谱仪还是新型光谱仪,均需要专业人员进行操作,即操作门槛高;而且,以上的光谱仪在对焦过程复杂,仅依靠专业人员的肉眼判断,长时间的操作导致出现对焦效率低、对焦不准确等情况,从而导致光谱分析效率低下,导致光谱分析的结果不准确。

发明内容

根据本发明的一个方面,提供了显微球面光谱自动分析仪,包括载物台、光路系统以及光谱分析系统,载物台位于光路系统的正下方,光路系统与光谱分析系统数据连接,还包括对焦装置,所述对焦装置包括手动微调机构、自动对焦机构以及控制系统,所述自动对焦机构设于手动微调机构的驱动端,所述载物台设于自动对焦机构的驱动端,所述控制系统内镶嵌有样本数据,所述控制系统与光谱分析系统数据连接。

对焦装置配置为根据光路系统的实时数据与样本数据的相对差值对载物台与光路系统的相对距离进行调节,从而实现自动对焦功能。

本发明提供一种显微球面光谱自动分析仪,通过设置对焦装置与光路系统实时数据连接方式,使得自动对焦机构能够根据光路系统的实时数据与样本数据的相对差值对载物台与光路系统的相对距离进行调节,从而实现对焦功能。本发明能够根据样品的光斑成像情况实时的进行自动聚焦,减小了光谱信号波动;聚焦过程自动完成,无需专业人员参与,提高光谱分析的操作效率,降低光谱分析的操作门槛;本发明结构简单,只需输入对焦样本数据,即能对多个受检测片进行光谱自动分析。

在一些实施方式中,自动对焦机构包括安装板、滑板以及驱动件,滑板和驱动件均设于安装板上,驱动件与滑板驱动连接,载物台安装在滑板上。

由此,滑板由驱动件进行升降驱动,从而对载物台的与光路系统的相对距离进行调节,即实现焦距调节功能。

在一些实施方式中,手动微调机构包括旋钮、齿轮组以及连接杆,旋钮通过齿轮组与连接杆传动连接,连接杆与安装板驱动连接。

由此,手动微调机构为对整个自动对焦机构进行升降调节。转动旋钮,旋钮通过齿轮组对连接杆进行传动,从而使得安装板升降运动。

在一些实施方式中,对焦装置还包括固定板,安装板可升降活动地设于固定板,固定板上设有开口,连接杆透过开口与安装板连接。

由此,安装板能够在固定板上进行升降滑动,连接杆透过开口与安装板连接,从而实现手动微调机构驱动自动对焦机构整体升降。

在一些实施方式中,控制系统与驱动件信号连接;控制系统与光谱分析系统数据连接。控制系统配置为采集光路系统的实时数据,并结合样本数据对驱动件进行实时控制,从而使得驱动件驱动载物台升降实现自动对焦功能。

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