[发明专利]液体压力控制装置和方法、清洗液供给机构在审
申请号: | 201910813648.3 | 申请日: | 2019-08-30 |
公开(公告)号: | CN110531794A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 李文杰;张明;李爱兵 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05D16/20 | 分类号: | G05D16/20 |
代理公司: | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒<国际申请>=<国际公布> |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力调节阀 液体压力 进液管路 液体压力控制装置 压力检测单元 进液管 开度 控制压力调节阀 清洗液供给机构 单元控制 清洗效果 便捷性 输出端 喷淋 发送 检测 | ||
1.一种液体压力控制装置,其特征在于,包括压力检测单元、执行单元、压力调节阀和控制单元,其中,
所述压力调节阀设置在进液管路上,用于调节所述进液管路中的液体压力的大小;
所述压力检测单元设置在所述进液管路上,且位于所述压力调节阀的输出端一侧,用于检测所述进液管路中的液体压力的实际值,并将其发送至所述控制单元;
所述执行单元与所述压力调节阀连接,用于控制所述压力调节阀的开度;
所述控制单元用于根据液体压力的所述实际值和设定值的差值进行计算,并根据计算结果通过所述执行单元控制所述压力调节阀的开度,以使所述进液管路中的液体压力等于所述设定值。
2.根据权利要求1所述的液体压力控制装置,其特征在于,所述压力调节阀为自动气压阀;所述执行单元为电气比例阀;所述自动气压阀通过所述电气比例阀连接至气源;
所述控制单元用于根据液体压力的所述实际值和设定值的差值计算得到输出至所述自动气压阀的气压值和与之对应的控制信号的电流值,并向所述电气比例阀发送所述控制信号;
所述电气比例阀用于根据所述控制信号向所述自动气压阀输出所述气压值,以将所述自动气压阀的开度调节至与所述气压值相对应的大小。
3.根据权利要求2所述的液体压力控制装置,其特征在于,所述电流值的取值范围在4mA-20mA;
当所述电流值小于4mA时,所述电气比例阀处于关闭状态;当所述电流值等于20mA时,所述电气比例阀的开度为100%。
4.根据权利要求3所述的液体压力控制装置,其特征在于,所述气压值的取值范围在0-500KPa。
5.根据权利要求1-4任一项所述的液体压力控制装置,其特征在于,所述控制单元为可编程逻辑控制器PLC。
6.一种液体压力控制方法,其特征在于,用于权利要求1-5任意一项所述的液体压力控制装置中,所述液体压力控制方法包括:
检测所述进液管路中的液体压力的实际值;
根据液体压力的所述实际值和设定值的差值进行计算,并根据计算结果调节所述压力调节阀的开度,使所述进液管路中的液体压力等于所述设定值。
7.根据权利要求6所述的液体压力控制方法,其特征在于,所述压力调节阀为自动气压阀;所述执行单元为电气比例阀;所述自动气压阀通过所述电气比例阀连接至气源;
所述根据液体压力的所述实际值和设定值的差值进行计算,并根据计算结果调节所述压力调节阀的开度,包括:
根据液体压力的所述实际值和设定值的差值进行计算得到输出至所述自动气压阀的气压值和与之对应的控制信号的电流值;
将所述控制信号输出至所述电气比例阀,控制所述电气比例阀向所述自动气压阀输出所述气压值,将所述自动气压阀的开度调节至与所述气压值相对应的大小。
8.根据权利要求7所述的液体压力控制方法,其特征在于,所述根根据液体压力的所述实际值和设定值的差值进行计算得到输出至所述自动气压阀的气压值和与之对应的控制信号的电流值包括:
采用下述PID算法公式计算获得所述气压值;
P=Kp×error+Ki×∑error+Kd×Δerror
其中,P为所述气压值;Kp、Ki和Kd分别为比例系数、积分系数和微分系数;error为液体压力的所述实际值与所述设定值的差值;∑error为error的累积值;Δerror为error的变化值;
根据预设的所述气压值与所述电流值的对应关系,确定所述电流值。
9.一种清洗液供给机构,包括至少一条用于喷淋清洗液的喷淋支路和用于向各条所述喷淋支路提供清洗液的供液管路,其特征在于,还包括权利要求1-5任意一项所述的液体压力控制装置,用于控制所述进液管路中的液体压力。
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