[发明专利]机械手碰撞保护检测方法、系统及下位机

说明书

本发明提供一种机械手碰撞保护检测方法、系统及下位机，该方法包括以下步骤：S1：判断机械手是否处于上电状态；若是，执行步骤S2；S2：获取碰撞保护开启信号，所述碰撞保护开启信号包括：表示所述机械手的碰撞保护已开启的第一信号与表示所述机械手的碰撞保护未开启的第二信号；当获取所述碰撞保护开启信号为第一信号时，进行步骤S3；当获取所述碰撞保护开启信号为第二信号时，进行步骤S4；S3：基于所述机械手的运动互锁条件判断是否允许所述机械手动作；S4：确定碰撞保护未开启报警，不允许所述机械手动作。通过本发明提高了机械手的安全性。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种机械手碰撞保护检测方法、系统及下位机。

背景技术

目前，LED刻蚀机是LED光源生产过程中所需要的非常重要设备，GaN基外延层或蓝宝石衬底是刻蚀的主要对象，刻蚀的效果直接关系到光源芯片质量高低。晶圆传输到腔室后，LED刻蚀机产生等离子体，等离子体和置于腔室并暴露在等离子体下的晶圆之间发生复杂的相互作用，使晶圆发生各种物理和化学反应，从而使晶圆表面性能发生变化，完成晶圆的刻蚀。

在LED刻蚀机中，一般采用机械手进行晶圆传输，机械手的稳定运动是半导体设备长期稳定运行的必要条件，为了保护机械手，一般会为机械手设置一套碰撞保护机制；在确定传送工位后进行机械手碰撞自学习，碰撞自学习的过程中会根据采集的机械手运行过程中电机最大电流值和设定灵敏度参数(设定灵敏度可以根据应用场景进行调整)计算出碰撞保护参数，自学习完成后机械手运行过程中的电流值超过碰撞保护参数时，机械手控制器触发碰撞保护，断开机械手伺服电，使机械手立即停止工作。

机械手在客户端使用过程中，对碰撞保护参数设置流程如下：

1)进行机械手各传送工位的校准。

2)开启机械手碰撞自学习。

3)机械手在传送工位之间互传两次。

4)通过机械手示教盒读取传送过程中机械手自学习的碰撞保护参数。

5)伺服电断电，对自学习的所有参数进行保存。

6)机械手量产，量产过程中不再对机械手碰撞保护参数进行调整，直至出现碰撞报警。

当机械手在客户端出现碰撞报警进行自学习处理后，必须断开伺服电，自学习的所有参数才能保存。机械手在调试或维护阶段均需要进行机械手自学习，在自学习过程中，未断开伺服电进行参数保存，会导致机械手自学习实际未完成即交付量产，量产过程中，机械手实际处于无保护状态。当机械手在量产过程中，出现碰撞报警时，由于机械手处于无保护状态，造成机械手部件或机台相关传输部件损坏。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种机械手碰撞保护检测方法、系统及机械手控制系统。

为实现本发明的目的而提供一种机械手碰撞保护检测方法，所述方法包括以下步骤：

S1：判断机械手是否处于上电状态；若是，执行步骤S2；

S2：获取碰撞保护开启信号，所述碰撞保护开启信号包括：表示所述机械手的碰撞保护已开启的第一信号与表示所述机械手的碰撞保护未开启的第二信号；当获取所述碰撞保护开启信号为第一信号时，进行步骤S3；当获取所述碰撞保护开启信号为第二信号时，进行步骤S4；

S3：基于所述机械手的运动互锁条件判断是否允许所述机械手动作；

S4：确定碰撞保护未开启报警，不允许所述机械手动作。

优选地，在所述步骤S1之后，且在所述步骤S2之前，还包括以下步骤：

S11：判断所述上电状态是否从断电状态切换后得到的；若是，执行所述步骤S2；若否，执行步骤S3。