[发明专利]用于将电磁波耦合输入到芯片中的设备

说明书

本发明涉及一种用于将电磁波耦合输入到芯片或类似物中的设备，所述设备包括用于容纳光源的腔和用于允许光源的光穿透的开口，所述开口与所述腔连接，其中，所述设备具有第一表面和与所述第一表面相对置的第二表面，其中，所述两个表面中的至少一个具有至少两个第一表面区段，所述至少两个第一表面区段以一倾斜角彼此倾斜地布置，其中，在所述腔的和/或所述开口的不同侧上第一表面与第二表面之间的距离不同，其中，在所述腔的和/或所述开口的不同侧上分别与所述腔/所述开口相邻的表面区域具有相同的倾斜角。

技术领域

本发明涉及一种用于将电磁波耦合输入到芯片或类似物中的设备。

本发明还涉及一种用于制造用于将电磁波耦合输入到芯片中的设备或类似物的方法。

背景技术

已知通过光波导体将光耦合输入到芯片中，其中，在此要么可以使用所谓的边缘耦合、即在芯片边缘耦合输入光，要么可以使用所谓的光栅耦合、即通过光栅耦合器从上方耦合输入到芯片面上。在边缘耦合的情况下必须保持高定位精度，以便将最大光功率传输到光子集成电路(简称PIC：photonic integrated circuit)中。在光栅耦合的情况下，除了光波导体的横向定位外，光波导体必须以与芯片面成确定的角度例如与芯片的法线成8°定向到芯片上，其中，在此使用主动的定向方法。

边缘发射器或竖直发射器——VCSEL——已知通常可以用作用于光的光源。

为了将光耦合输入到光栅耦合器中，已知使用所谓的光学平台(optische Bank)。该光学平台由硅中间元件构成，在该硅中间元件上布置有边缘发射器、透镜和用于偏转光的射束路径的球透镜。该光学平台可以如此定位在PIC上并且借助引线键合进行接通，使得光指向光栅耦合器并且在那里耦合输入到PIC中。在边缘耦合的情况下使用边缘发射器，该边缘发射器与至少一个透镜一同精确地朝向PIC的芯片边缘地布置。

发明内容

在一种实施方式中，本发明提供一种用于将电磁波耦合输入到芯片或类似物中的设备，所述设备包括用于容纳光源的腔、用于允许光源的光穿透的开口，所述开口与所述腔连接，其中，所述设备具有第一表面和与所述第一表面相对置的第二表面，其中，所述两个表面中的至少一个具有至少两个第一表面区段，所述至少两个第一表面区段以一倾斜角彼此倾斜地布置，其中，在所述腔的和/或所述开口的不同侧上第一表面与第二表面之间的距离不同，其中，在所述腔的和/或所述开口的不同侧上分别与所述腔/所述开口相邻的表面区域具有相同的倾斜角。

在另一实施方式中，本发明提供一种用于制造用于将电磁波耦合输入到芯片中的设备的方法，所述方法包括以下步骤：

在所述设备中制造腔，用于容纳光源；

制造用于允许光穿透的开口，所述开口与所述腔连接；

制造第一表面和与所述第一表面相对置的第二表面，所述第一表面和所述第二表面具有至少两个第一表面区段，所述至少两个第一表面区段以一倾斜角彼此倾斜地布置并且以第一表面与第二表面之间的不同距离布置在所述腔的和/或所述开口的不同侧上，其中，以相同的倾斜角制造在所述腔的和/或所述开口的不同侧上分别与所述腔/所述开口相邻的表面区域。

在另一实施方式中，本发明提供一种具有根据本发明的扩展方案的设备的芯片。

借此实现的优点中的一个是：可以提供紧凑并且成本有利的耦合输入设备，所述耦合输入设备能够实现将光有效地耦合输入到光子集成电路中。另一优点是，可以在制造设备时实现高的通过速度。此外有利的是，能够实现简单的安装并且尤其实现可批量适用的制造。

换句话说，提供一种具有两个平面的基本上楔形的设备，所述两个平面彼此以良好定义的角度来布置。在此，第一平面可以用于处理设备和安装光源。第二平面可以用于确保在安装中的所需的在芯片上光入射角。

本发明的另外的特征、优点和另外的实施方式在下面描述或将变得公开。