[发明专利]一种电机转子用旋转整流二极管及其制作工艺

权利要求书

1.一种电机转子用旋转整流二极管，其特征在于：包括管芯（1），所述管芯（1）为环形，管芯（1）的内壁上制作有钝化层（3），管芯（1）的外壁上制作有合金层（2），所述钝化层（3）的高度与合金层（2）的高度相同，所述管芯（1）的高度大于钝化层（3）的高度；

其制作工艺步骤为：

①在硅衬底表面生长氧化层；

②对硅衬底的氧化层上下端面进行光刻和刻蚀形成有源区窗口，然后通过固态源扩散形成PN结；

③对硅衬底的氧化层内外侧进行光刻去除氧化层，然后将硅衬底置于蒸发室内，在去除氧化层的表面形成厚度为1~3μm的蒸铝层；

④使用金属刻蚀液刻蚀硅衬底外侧的蒸铝层，刻蚀温度：50~100℃，刻蚀时间：60s~240s；后将硅衬底置于蒸发室内，在刻蚀出的表面首先形成一层厚度为1~3μm的铝层，然后形成一层厚度为0.5~2μm的钛层；

⑤用金属刻蚀液刻蚀硅衬底内侧的蒸铝层，刻蚀温度：50~100℃，刻蚀120~360s后，在硅衬底内侧光刻一层厚度为0.2~3μm的聚酰亚胺；

⑥将硅衬底的厚度减薄到200~350μm，然后通过激光划片规则形状后装模烧焊，焊接温度：300~500℃；

所述步骤①为掺氯氧化，氧化膜厚度为6000 Å ~12000Å ，氧化温度为1100~1200℃，氧化时间为1~3h ；

所述步骤②中采用硼源扩散，扩散温度：1000~1200℃，扩散时间：3~6h，方块电阻：R=10~60Ω/□；扩散结深：5~10 μm 。

2.如权利要求1所述的电机转子用旋转整流二极管，其特征在于：所述金属刻蚀液为铝刻蚀液。