[发明专利]基板承载装置和涂胶显影设备

权利要求书

1.一种基板承载装置，其特征在于，包括相对设置的两个承载机构，以及位于两个所述承载机构之间的驱动机构；任一所述承载机构包括：

导向组件，包括相互配合的导向件和运动件，所述导向件用于引导所述运动件沿预设轨迹运动；所述运动件的预设轨迹为直线；

多个支撑件，固定于所述运动件，且用于共同承载所述基板；

其中，所述驱动机构能够同时驱动两个所述承载机构的运动件向相反的方向运动。

2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述导向件为导轨，所述运动件为与所述导轨配合的滑块。

3.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述支撑件包括与所述运动件连接的支撑针；同一所述承载机构中，各个所述支撑针远离所述运动件的一端位于同一平面。

4.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，任一所述承载机构还包括支撑板；

同一所述承载机构中，所述支撑板固定于所述运动件，且所述支撑件固定于所述支撑板且向远离所述运动件的一侧延伸。

5.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，同一所述承载机构中，所述支撑板的数量为多个，且任一所述支撑板固定有多个所述支撑件。

6.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，同一所述承载机构中，所述导向组件的数量为多个，且各个所述运动件的预设轨迹相互平行，所述支撑板固定于所有所述运动件。

7.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述驱动机构包括：

旋转轴，所述旋转轴的轴线方向垂直于各个所述支撑件的运动轨迹所在的平面；

两个驱动端，分别与驱动轴固定连接；

其中，两个所述承载机构的运动件靠近所述旋转轴的一侧，与两个所述驱动端一一对应地配合。

8.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，所述驱动机构包括：

旋转轴，所述旋转轴的轴线方向垂直于各个所述支撑件的运动轨迹所在的平面；

两个驱动端，分别与驱动轴固定连接；

其中，两个所述承载机构的支撑板靠近所述旋转轴的一侧，与两个所述驱动端一一对应地配合。

9.根据权利要求7或8所述的基板承载装置，其特征在于，两个所述驱动端与所述旋转轴的轴线之间的距离相等。

10.根据权利要求7或8所述的基板承载装置，其特征在于，两个所述承载机构的运动件，与所述旋转轴的轴线之间的距离相等。

11.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述驱动机构的数量为多个，且多个所述驱动机构同时驱动两个所述承载机构的运动件运动。

12.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括利要求1～11任一项所述的基板承载装置。