[发明专利]一种金属镱靶材的生产工艺

权利要求书

1.一种金属镱靶材的生产工艺，其特征在于，所述生产工艺包括步骤：

S101，将金属镱原料熔炼；

S102，将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭；

S103，将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材；

S104，将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。

2.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺，其特征在于，所述步骤S101具体为：将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至850-1100℃进行熔炼。

3.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺，其特征在于，所述步骤S102具体为：将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成圆形镱铸锭。

4.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺，其特征在于，在所述步骤S102和步骤S103之间还包括：

S1021，对所述镱铸锭进行成分检测，对符合成分要求的镱铸锭执行步骤S103，对不符合成分要求的镱铸锭进行回收。

5.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺，其特征在于，所述步骤S103具体包括：

S1031，对镱铸锭进行车削，削除表面材料；

S1032，对车削后的镱铸锭进行热锻造；

S1033，对热锻造后的镱铸锭进行轧制；

S1034，对轧制后的镱铸锭进行热处理形成雏形靶材。

6.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺，其特征在于，所述步骤S104之后还包括：

S105，对金属镱靶材件尺寸及成分进行再次检测，对尺寸及成分合格的金属镱靶材进行包装，对尺寸或成分不合格的金属镱靶材进行回收。