[发明专利]一种金属镱靶材的生产工艺

说明书

本发明公开了一种金属镱靶材的生产工艺，所述生产工艺包括步骤：S101，将金属镱原料熔炼；S102，将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭；S103，将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材；S104，将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。实施本发明的金属镱靶材的生产工艺时，先将金属镱原料按配比倒入至熔炼炉内进行熔炼，然后将熔炼液倒入锭模内铸成镱铸锭，之后对镱铸锭先后进行车削加工去除表面材料、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材，最后对雏形靶材按照所需尺寸及形状进行精加工，之后进行清洗及烘干，形成最终的金属镱靶材。本发明的生产工艺较为简洁，可大大提高成品生成率及生产效率，降低生产成本。

技术领域

本发明涉及一种金属镱靶材的生产工艺。

背景技术

现有的金属镱靶材生产工艺复杂，生产成本较高，影响金属镱靶材的生产及使用。

发明内容

本发明针对现有技术的上述缺陷，提供一种金属镱靶材的生产工艺。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种金属镱靶材的生产工艺，所述生产工艺包括步骤：

S101，将金属镱原料熔炼；

S102，将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭；

S103，将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材；

S104，将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。

进一步的，所述步骤S101具体为：将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至850-1100℃进行熔炼。

进一步的，所述步骤S102具体为：将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成圆形镱铸锭。

进一步的，在所述步骤S102和步骤S103之间还包括：

S1021，对所述镱铸锭进行成分检测，对符合成分要求的镱铸锭执行步骤S103，对不符合成分要求的镱铸锭进行回收。

进一步的，所述步骤S103具体包括：

S1031，对镱铸锭进行车削，削除表面材料；

S1032，对车削后的镱铸锭进行热锻造；

S1033，对热锻造后的镱铸锭进行轧制；

S1034，对轧制后的镱铸锭进行热处理形成雏形靶材。

进一步的，所述步骤S104之后还包括：

S105，对金属镱靶材件尺寸及成分进行再次检测，对尺寸及成分合格的金属镱靶材进行包装，对尺寸或成分不合格的金属镱靶材进行回收。

实施本发明的金属镱靶材的生产工艺，具有以下有益效果：实施本发明的金属镱靶材的生产工艺时，先将金属镱原料按配比倒入至熔炼炉内进行熔炼，然后将熔炼液倒入锭模内铸成镱铸锭，之后对镱铸锭先后进行车削加工去除表面材料、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材，最后对雏形靶材按照所需尺寸及形状进行精加工，之后进行清洗及烘干，形成最终的金属镱靶材。本发明的生产工艺较为简洁，可大大提高成品生成率及生产效率，降低生产成本。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：

图1是本发明金属镱靶材的生产工艺第一实施例的流程示意图；

图2是本发明金属镱靶材的生产工艺第一实施例中步骤S103的具体流程示意图；

图3是本发明金属镱靶材的生产工艺第二实施例的流程示意图。

具体实施方式