[发明专利]溅射离子泵的磁轭组件

权利要求书

1.溅射离子泵的磁轭组件，包括偶数个磁钢、两块轭铁、定位片和中间层固定片，其中磁钢具有相同尺寸和磁能积，离子泵呈井字形，离子泵的泵壳为两个上下“凹”型组成的一个类似“艹”形结构，位于离子泵的泵壳左右两侧各设置一块竖直的轭铁，轭铁分别与井字形离子泵的泵壳一侧形成上下轴对称的容纳一个磁钢的空间，井字形离子泵的泵壳中间内凹部分上下轴对称形成容纳四块磁钢的中央空间，若干磁钢分别安装在上下方向的两侧空间和中央空间中，井字形离子泵的泵壳两侧各容纳一块磁钢，中央空间上下各容纳两块磁钢，在每块轭铁平面上均匀放置两块磁钢，对应在同一块轭铁上的两个中磁钢的磁极方向相反，泵壳右侧磁轭的结构同左侧磁轭结构一致，轭铁上的磁钢通过定位片固定，泵体上安装的磁钢安装在井字形离子泵的泵壳凹槽内并通过中间层固定片固定，所有磁钢和磁轭整体沿着泵壳外侧轴向形成封闭的磁力线回路。

2.如权利要求1所述的磁轭组件，其中，井字形离子泵的泵壳一侧的磁轭由上下两块磁钢、一块轭铁以及两个定位板形成，平放在轭铁上的两块磁钢磁极方向相反，磁钢依靠磁性吸引力紧紧吸附在轭铁上，磁钢在轭铁上水平方向的紧固或限制是通过定位板完成的，定位板通过螺钉拧紧在轭铁平面上。

3.如权利要求1所述的磁轭组件，其中，轭铁上的两块磁钢垂直水平面方向的磁性磁极互为相反，其中一块为N极，另一块为S极。

4.如权利要求1所述的磁轭组件，其中，井字形离子泵的泵壳中间内凹部分的磁轭位于泵壳中间内空间内，中间层磁轭是由偶数块磁钢和对应数量的中间层固定片组成，两块轭铁和偶数块磁钢被均分为上下两组，并分别安装在井字形离子泵的泵壳上下两侧，每组为所述偶数块一半数量的磁钢叠放在一起，并用对应数量的中间层固定片紧固在泵壳的内凹中间空间中。

5.如权利要求4所述的磁轭组件，其中，井字形离子泵的泵壳的内凹中间空间两侧相邻的突出空间内放置一组或多组抽气单元。

6.如权利要求5所述的磁轭组件，其中，抽气单元是二极泵抽气单元或者三极泵抽气单元。

7.如权利要求1所述的磁轭组件，其中，井字形离子泵的泵壳的材料选用无磁钢材或低磁钢材。

8.如权利要求7所述的磁轭组件，其中，井字形离子泵的泵壳的材料为316L不锈钢。

9.如权利要求1所述的磁轭组件，其中，磁钢的材料选择铁氧体、衫钴或铷铁硼中的一种，定位板的材料为316L不锈钢，轭铁的材料为纯铁。