[发明专利]一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法

权利要求书

1.一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，在单通阳极氧化铝模板的孔道表面蒸镀一层金属膜；

步骤2，将所述金属膜经过高温限域球化过程在孔道底部形成金属纳米颗粒；

步骤3，在经过步骤2处理的孔道内，通过热熔方式将聚碳酸酯充满孔道并包裹金属纳米颗粒；

步骤4，去除所述单通阳极氧化铝模板，获得转移至聚碳酸酯表面的金属纳米颗粒阵列；

所述热熔方式为：将聚碳酸酯物置于300℃加热台上热熔，将模板有孔一侧与热熔的聚碳酸酯接触，使孔道内充满聚碳酸酯后，停止加热，自然冷却至室温。

2.根据权利要求1所述的一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法，其特征在于，所述孔道的孔径为90nm~400nm；孔道深度为50nm~300nm。

3.根据权利要求1所述的一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法，其特征在于，所述金属膜为金膜或银膜；所述金属膜的厚度为5nm~40nm。

4.根据权利要求1所述的一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法，其特征在于，步骤1中所述蒸镀的方式为电子束蒸发热沉积。

5.根据权利要求1所述的一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法，其特征在于，步骤2中所述高温限域球化过程的温度为250℃~500℃，时间为1h~3h。

6.根据权利要求1所述的一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法，其特征在于，步骤4中所述去除所述单通阳极氧化铝模板，包括如下步骤：先用氯化铜溶液去除所述单通阳极氧化铝模板背面的铝层，再用磷酸和铬酸的混合溶液去除所述单通阳极氧化铝模板的阻挡层和氧化层。

7.根据权利要求6所述的一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法，其特征在于，所述氯化铜溶液为饱和溶液；所述磷酸和铬酸的混合溶液中磷酸的浓度为5wt%，铬酸的浓度为1.8wt%。