[发明专利]芯片沟道搜索定位装置在审
申请号: | 201910829992.1 | 申请日: | 2019-09-04 |
公开(公告)号: | CN110514117A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 苏世圣;程昕;杜晓纯;刘晓彬;白宇;郭永 | 申请(专利权)人: | 新羿制造科技(北京)有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
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地址: | 102200 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 芯片 激光发射源 强度检测部件 沟道 搜索定位 芯片承载 检测 运算控制部件 通讯连接 相对设置 制造成本 发射 数据量 算法 运算 承载 | ||
1.一种芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,所述装置包括:
激光发射源(1),用于发射激光至芯片(10)上;
激光强度检测部件(2),与所述激光发射源(1)相对设置,以接收并检测所述激光发射源(1)发射的激光经过所述芯片(10)后的激光强度;
芯片承载部件(3),处于所述激光发射源(1)与所述激光强度检测部件(2)之间的区域,并用于承载所述芯片(10),且所述芯片承载部件(3)能够相对所述激光发射源(1)运动;
运算控制部件,与所述激光强度检测部件(2)通讯连接,用于接收所述激光强度检测部件(2)检测到的信号并进行运算获取所述芯片(10)的沟道的位置。
2.根据权利要求1所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,所述芯片承载部件(3)包括放置台(31),所述放置台(31)上构造有通孔,所述芯片(10)覆盖于所述通孔上。
3.根据权利要求2所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,还包括移动驱动部件(4),所述移动驱动部件(4)与所述芯片承载部件(3)驱动连接,以驱动所述芯片承载部件(3)产生直线运动。
4.根据权利要求3所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,所述移动驱动部件(4)包括步进电机(41),所述步进电机(41)的输出轴与丝杆(42)同轴连接,所述芯片承载部件(3)螺纹连接在所述丝杆(42)上。
5.根据权利要求4所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,还包括主控部件,所述主控部件与所述运算控制部件通讯连接,以接受所述运算控制部件的控制指令,且所述主控部件还与所述步进电机(41)通讯连接,以控制所述步进电机(41)运转。
6.根据权利要求5所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,还包括限位感应部件,所述限位感应部件处于所述丝杆(42)与所述步进电机(41)相对的一端。
7.根据权利要求6所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,所述限位感应部件为光电开关。
8.根据权利要求1所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,还包括操作平台(7),所述操作平台上设有支架(6),所述支架(6)凸出于所述操作平台(7)的上表面,且所述支架(6)的上端设有所述激光强度检测部件(2),所述激光强度检测部件(2)在所述操作平台(7)上的投影区域设有通槽,所述激光发射源(1)设于所述操作平台(7)的下表面且与所述通槽处相对应。
9.根据权利要求8所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,所述步进电机(41)固定于所述操作平台(7)的上表面。
10.根据权利要求8所述的芯片沟道搜索定位装置,其特征在于,所述放置台(31)与所述操作平台(7)的上表面之间设有导轨。
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