[发明专利]芯片沟道搜索定位装置

说明书

本发明提供一种芯片沟道搜索定位装置，包括激光发射源，用于发射激光至芯片上；激光强度检测部件，与所述激光发射源相对设置，以接收并检测所述激光发射源发射的激光经过所述芯片后的激光强度；芯片承载部件，处于所述激光发射源与所述激光强度检测部件之间的区域，并用于承载所述芯片，且所述芯片承载部件能够相对所述激光发射源运动；运算控制部件，与所述激光强度检测部件通讯连接，用于接收所述激光强度检测部件检测到的信号并进行运算获取所述芯片的沟道的位置。本发明的一种芯片沟道搜索定位装置，能够通过透过芯片的激光强度的变化搜索定位芯片的沟道，数据量小且算法简单，具有制造成本低、检测速度快的特点。

技术领域

本发明属于集成芯片检测技术领域，具体涉及一种芯片沟道搜索定位装置。

背景技术

微液滴微流控(droplet-based microfluidics)是近年来在微流控芯片上发展起来的一种操控微小体积液体的技术平台，其原理为：将两种互不相溶的液体，例如其中的一种为油相、另一种为水相，油相和水相同时进入微通道后，在微通道的作用下，水相以微小体积(10^-15～10^-9L)单元的形式分布于油相中，形成一系列离散的微液滴，每个液滴作为一个微反应器，完成一组化学或生物反应。

对于微流控芯片而言，要求微液滴以一字排开的方式流过检测区域，所以检测沟道宽度与微液滴直径接近，对于前期检测而言，要求设备的检测装置准确定位在待检沟道区域，并且允许的定位偏差很小，但是电机定位的准确性不能弥补芯片安装、芯片摆放等对实际检测沟道位置所产生的偏差。因此对于检测区域只有微米级别的芯片，对其进行扫描方式的定位，以确保位置的准确性。

通常对于检测芯片扫描的定位，是依靠步进电机的控制，再加上视觉采集系统，通过成像的方式识别目标单元的特征，进而控制步进电机调节位置。这种控制方式存在着成本较高、数据处理单元的硬件要求较高、软件算法较为复杂等不足。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于提供一种芯片沟道搜索定位装置，能够通过透过芯片的激光强度的变化搜索定位芯片的沟道，数据量小且算法简单，具有制造成本低、检测速度快的特点。

为了解决上述问题，本发明提供一种芯片沟道搜索定位装置，包括：

激光发射源，用于发射激光至芯片上；

激光强度检测部件，与所述激光发射源相对设置，以接收并检测所述激光发射源发射的激光经过所述芯片后的激光强度；

芯片承载部件，处于所述激光发射源与所述激光强度检测部件之间的区域，并用于承载所述芯片，且所述芯片承载部件能够相对所述激光发射源运动；

运算控制部件，与所述激光强度检测部件通讯连接，用于接收所述激光强度检测部件检测到的信号并进行运算获取所述芯片的沟道的位置。

优选地，所述芯片承载部件包括放置台，所述放置台上构造有通孔，所述芯片覆盖于所述通孔上。

优选地，所述芯片沟道搜索定位装置还包括移动驱动部件，所述移动驱动部件与所述芯片承载部件驱动连接，以驱动所述芯片承载部件产生直线运动。

优选地，所述移动驱动部件包括步进电机，所述步进电机的输出轴与丝杆同轴连接，所述芯片承载部件螺纹连接在所述丝杆上。

优选地，所述芯片沟道搜索定位装置还包括主控部件，所述主控部件与所述运算控制部件通讯连接，以接受所述运算控制部件的控制指令，且所述主控部件还与所述步进电机通讯连接，以控制所述步进电机运转。

优选地，所述芯片沟道搜索定位装置还包括限位感应部件，所述限位感应部件处于所述丝杆与所述步进电机相对的一端。

优选地，所述限位感应部件为光电开关。