[发明专利]一种晶圆圆心校准的方法和装置

说明书

本发明涉及一种晶圆圆心校准的装置，包括：载台、挡台、测距传感器和控制器；载台的顶面高于所述测距传感器，测距传感器设置于载台的一侧，挡台位于测距传感器的正上方；载台用于放置晶圆并带动所述晶圆运动；测距传感器用于获取水平间距信息和竖直间距信息；控制器与测距传感器连接，控制器用于控制所述载台转动预设角度，或者控制载台沿靠近或远离测距传感器的方向移动。利用控制器对测距传感器的信息进行处理，判断出圆心位置偏移的晶圆。达到可以快速筛选出圆心位置偏移的晶圆，提高了晶圆圆心校准的效率，有效的避免了人工检测的误差。

技术领域

本发明涉及晶圆校准领域，特别涉及一种晶圆圆心校准的方法和装置。

背景技术

近年来，对于晶圆圆心的放置是否准确通常采用的是人工肉眼校准的方式。然而因为人工校准会存在视觉误差，并且人工校准时还需要另外的工序进行晶圆寻边。同时，现有的机台会因发现晶圆圆心未校准或者寻边等问题，不仅会停止当前晶圆的作业，还会停下余下晶圆的作业，极大的影响了工作效率。

发明内容

为此，需要提供一种晶圆圆心校准设备，用于解决人工肉眼校准晶圆圆心存在误差，以及检测效率较低的问题的技术问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种晶圆圆心校准的装置，包括：载台、挡台、测距传感器和控制器；所述载台的顶面高于所述测距传感器，测距传感器设置于所述载台的一侧，所述挡台位于所述测距传感器的正上方；

所述载台用于放置晶圆并带动所述晶圆运动；

所述测距传感器用于获取水平间距信息和竖直间距信息；所述水平间距信息包括第一水平间距信息和第二水平间距信息，所述竖直间距信息包括第一竖直间距信息和第二竖直间距信息；所述第一水平间距信息为在无晶圆遮挡时测距传感器距离所述载台的间距信息，所述第二水平间距信息为在有晶圆遮挡时测距传感器距离所述载台的间距信息；所述第一竖直间距信息为在无晶圆遮挡时测距传感器距离所述挡台的间距信息，所述第二竖直间距信息为在有晶圆遮挡时测距传感器距离载台上的晶圆边缘的间距信息；

所述控制器与所述测距传感器连接，所述控制器用于根据测距传感器传输的水平间距信息和竖直间距信息，控制所述载台转动预设角度，或者控制所述载台沿靠近或远离所述测距传感器的方向移动。

作为本发明的一种优选结构，所述载台包括驱动电机和转盘，所述转盘设置在驱动电机的输出轴上，所述驱动电机用于驱动载台转动。

作为本发明的一种优选结构，所述转盘的顶面设置有吸盘。

作为本发明的一种优选结构，还设置有滑轨，所述滑轨的轨道面与档台的台面相互平行设置，所述测距传感器设置在所述滑轨上，所述滑轨的中心线与载台的轴心投影相重合；所述载台包括驱动电机，所述载台通过所述驱动电机驱动以在所述滑轨上滑动。

作为本发明的一种优选结构，所述测距传感器用于采集在晶圆圆心校准后实时获取晶圆转动过程中的第二竖直间距信息；所述控制器用于在检测到圆心校准后的晶圆在转动过程中第二竖直间距信息发生变化时，判定所述晶圆异常。

作为本发明的一种优选结构，还包括晶舟，所述晶舟设置在与所述测距传感器不同的载台的另一侧上，所述晶舟用于放置控制器判定为异常的晶圆。

作为本发明的一种优选结构，还包括机械臂，所述机械臂设置在与所述晶舟相同的载台的另一侧上，所述机械臂用于抓取载台上判定为异常的晶圆并将其放置于所述晶舟内。

发明人还提供了一种晶圆圆心校准的方法，所述方法包括以下步骤：

载台放置晶圆并带动晶圆运动；

测距传感器获取水平间距信息和竖直间距信息；

控制器根据测距传感器传输的水平间距信息和竖直间距信息，控制所述载台转动预设角度，或者控制所述载台沿靠近或远离所述测距传感器的方向移动。