[发明专利]图案描绘装置

权利要求书

1.一种图案描绘装置，一边基于与在基板上待描绘的图案相应的描绘资料将作为点光被投射于该基板表面的来自光源装置的光束进行强度调变、一边使该点光在该基板上在与主扫描方向和副扫描方向相对地进行二维扫描，将该图案描绘于该基板，其具备：

入射光学构件，接收基于该描绘资料而强度调变后的描绘用的光束；

扫描用偏向构件，使来自该入射光学构件的该描绘用的光束为了进行向该主扫描方向的一维扫描而偏向；

投射光学系统，使经偏向的该描绘用的光束入射而作为该点光投射于该基板上；

支承架，将该入射光学构件、该扫描用偏向构件及该投射光学系统作为光束扫描单元一体地支承；

旋转支承机构，将该支承架以能绕设于装置本体的支柱构件的、与该基板表面的法线平行的第1旋转中心轴旋转的状态，支承于该装置本体；以及

光导入光学系统，以入射至该入射光学构件的该描绘用的光束的入射轴与该第1旋转中心轴在既定容许范围内成为同轴的方式，将该描绘用的光束导向该入射光学构件。

2.根据权利要求1所述的图案描绘装置，其中，在将通过该基板表面的法线中以该点光的该主扫描方向的一维扫描规定的扫描线上的特定点的法线作为照射中心轴时，该支承架以该第1旋转中心轴与该照射中心轴在该既定容许范围内被设定为同轴的方式，支承将从该入射光学构件到该基板的该描绘用的光束的光路加以弯折的多个光路偏向构件。

3.根据权利要求2所述的图案描绘装置，其中，该支承架具备像旋转光学系统，该像旋转光学系统设在该基板与该投射光学系统之间，以和该照射中心轴在该既定容许范围内成为同轴的第2旋转中心轴为中心，相对于该支承架可旋转地被支承。

4.根据权利要求3所述的图案描绘装置，其进一步具备支承该基板而使其在该副扫描方向以既定速度移动的搬送机构；

构成该光束扫描单元的该支承架与该旋转支承机构，于该主扫描方向以既定的间隔设有多个，通过从多个该光束扫描单元的各个投射的该点光的一维扫描而被描绘于该基板上的图案的各个，以伴随该搬送机构进行的该基板的移动而在该主扫描方向接合的方式，安装于该装置本体内的本体框。

5.根据权利要求4所述的图案描绘装置，其中，该光导入光学系统与该多个光束扫描单元的各个对应而于该本体框设有多个；

于该多个光导入光学系统的各个，设有多个反射镜和音声光学调变器，该多个反射镜设定为该描绘用的光束朝向该入射光学构件，该音声光学调变器将在使从该光源装置导入的光束与该点光的往该主扫描方向的扫描的时序同步而绕射时产生的一次绕射光，作为该描绘用的光束射出；

该多个反射镜中的配置于该音声光学调变器后方的反射镜，配置为仅使该一次绕射光反射并朝向该入射光学构件。

6.根据权利要求5所述的图案描绘装置，其进一步具有将来自该光源装置的光束向该多个光导入光学系统的各个分支的分束器；

设于该多个光导入光学系统的各个的该音声光学调变器，被施加用以产生该一次绕射光的高频率信号基于与该图案相应的描绘资料进行调变。

7.根据权利要求5所述的图案描绘装置，其中，该光源装置包含：输出以既定的频率进行脉冲发振的红外波长域的种光的半导体激光元件、放大该种光的光纤放大器、将经放大的该红外波长域的脉冲状的种光转换为紫外波长域的脉冲光的波长转换元件；

通过基于该描绘资料调变该种光的强度，将该紫外波长域的脉冲光作为该描绘用的光束射出的光纤放大激光光源。

8.根据权利要求5所述的图案描绘装置，其中，设有光束送光系统，该光束送光系统使来自该光源装置的光束依序透过设置于该多个光导入光学系统的各个的该音声光学调变器的各个；

对该多个音声光学调变器中的任一个，以成为该一次绕射光产生的导通状态的方式选择性地进行切换。