[发明专利]一种盲孔金属化铝基板及其生产工艺有效
申请号: | 201910842189.1 | 申请日: | 2019-09-06 |
公开(公告)号: | CN110610899B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 张渊;曾琳;张静 | 申请(专利权)人: | 麦德美科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 胡昌国 |
地址: | 215126 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属化 铝基板 及其 生产工艺 | ||
本发明公开了一种盲孔金属化铝基板及其生产工艺,金属孔印刷电路板包括依次覆有树脂和铜覆层的铝基板,在所述铝基板上设有盲孔,所述盲孔的处于铝基板的上的表面上依次设有锌覆层、镍覆层以及第一铜覆层,所述铜覆层上设有第一铜覆层,所述盲孔处于树脂层的的表面上设有碳层,所述铜覆层、第一铜覆层以及碳层上覆有第二铜覆层。金属孔印刷电路板生产工艺包括设置盲孔、镀锌、镀镍、镀铜、blackhole以及镀铜。金属孔印刷电路板有较佳的连接稳定性、散热和接地性能。
技术领域
本发明涉及了铝基电路板的制作技术领域,具体的是一种盲孔金属化铝基板及其生产工艺。
背景技术
常用的金属基电路板有铝基板和铜基板。部分器件的金属基电路板需要良好的接地性能,线路层与散热金属层导通。铜基板能够直接加工成金属化孔,而铝基板不可以,铝具有活泼的化学活性,不能够直接进行化学铜或电镀铜,有部分铝基电路板在制作完成后,使用金属铆钉连接铜层和铝层导电。
且铜基板的价格是同等厚度的铝基板价格的10倍左右,同体积铜基板的重量是铝基板的3倍,不利于产品轻量化。
发明内容
为了克服现有技术中的缺陷,本发明实施例提供了一种盲孔金属化铝基板及其生产工艺,其有较佳的连接稳定性、散热和接地性能。
为实现上述目的,本申请实施例公开了一种盲孔金属化铝基板,包括:
铝基板,所述铝基板的全面上覆有树脂层,所述树脂层上设有铜覆层,所述铝基板上设有盲孔,所述盲孔穿过铜覆层和树脂层设置在所述铝基板上,所述盲孔的处于铝基板的上的表面上依次设有锌覆层、镍覆层以及第一铜覆层,所述铜覆层上设有第一铜覆层,所述盲孔处于树脂层的的表面上设有碳层,所述铜覆层、第一铜覆层以及碳层上覆有第二铜覆层。优选的,所述第一铜覆层的厚度为5um。
优选的,所述第二铜覆层的厚度为25um。
本申请实施例公开了一种盲孔金属化铝基板的生产工艺,包括以下步骤:
在铝基板上依次设置树脂层和铜覆层,在设置了树脂层和铜覆层的铝基板上设置盲孔,所述盲孔穿过树脂层和铜覆层设置在所述铝基板上;
对设置了盲孔的所述铝基板进行碱性除油、酸性蚀刻和去黑膜;
通过电阻测量确认铝基与铜基的完全绝缘,以保证浸锌和化学镍仅发生在铝基板上,对进行了碱性除油、酸性蚀刻和去黑膜的铝基板上的盲孔进行浸锌、褪锌和二次浸锌,使得所述盲孔处于所述铝基板上的表面上形成锌覆层;
在锌覆层上进行化学镀镍,在所述锌覆层上形成镍覆层;
使用焦磷酸铜在所述铜覆层和所述镍覆层上电镀铜,形成第一铜覆层;
在树脂层上使用黑孔液进行涂覆形成碳层;
使用硫酸铜在所述铜覆层、碳层以及第一铜覆层上电镀铜,形成第二铜覆层。
优选的,所述碱性除油的温度为55℃-65℃,时间为2min-4min;酸性蚀刻的温度为60℃-70℃,时间为2min-4min。
优选的,所述浸锌的温度为25℃-35℃,时间为0.5min-1.5min;所述褪锌的温度为20℃-30℃,时间为0.5min;所述二次浸锌的温度为25℃-35℃,时间为15s-25s。
优选的,所述化学镀镍的温度为25℃-35℃,时间为8min-12min。
优选的,使用焦磷酸铜在所述铜覆层和所述镍覆层上电镀铜时温度为45℃-55℃,时间为25min-35min。
优选的,使用硫酸铜在所述铜覆层、碳层以及第一铜覆层上电镀铜时温度为20℃-30℃,时间为90min。
本发明的有益效果如下:
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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