[发明专利]一种芯片生产用硅初步生产设备

说明书

本发明涉及硅纯化附属装置的技术领域，特别是涉及一种芯片生产用硅初步生产设备，其可以提高硅原料与酸的接触均匀性，提高提纯速度，并且可以方便将处理后的部分倒出；包括底座、多组支撑柱、料仓、传输管、处理箱、过滤网、排液管、翻转箱、驱动轴、左转盘、传动轴、多组搅拌叶和右转盘，传输管上设置有开关阀，处理箱左侧壁和右侧壁分别设置有两组第一通孔，驱动轴和传动轴一端分别穿过两组第一通孔，翻转箱右侧壁上设置有第二通孔，驱动轴和传动轴与两组第一通孔内壁之间分别设置有两组第一机械密封件，并且传动轴与第二通孔内壁之间设置有第二机械密封件，多组搅拌叶均位于翻转箱中，并且多组搅拌叶均安装在传动轴上。

技术领域

本发明涉及硅纯化附属装置的技术领域，特别是涉及一种芯片生产用硅初步生产设备。

背景技术

众所周知，芯片在生产制造过程中，需要用到硅晶圆这一必不可少的原料，在硅晶圆的生产制造过程中，基本可以分别为三个步骤，依次为硅的初步纯化、多晶硅的制造和硅晶圆的制造，硅的初步纯化则是至关重要的一步，由于硅不溶于酸，因此对粗硅的初步纯化是使用HCl、H₂SO₄、王水、HF等混酸泡洗至硅含量99.7%以上，提高硅的纯度，以方便对硅进行后续的精馏提纯操作，当对硅进行初步提纯操作时，其不方便将硅原料与酸充分均匀的接触，提纯速度较慢，并且其不方便将处理后的部分倒出。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种可以提高硅原料与酸的接触均匀性，提高提纯速度，并且可以方便将处理后的部分倒出的芯片生产用硅初步生产设备。

本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，包括底座、多组支撑柱、料仓、传输管、处理箱、过滤网、排液管、翻转箱、驱动轴、左转盘、传动轴、多组搅拌叶和右转盘，所述多组支撑柱两端分别与料仓底部和底座顶部连接，所述料仓内设置有储存腔，并在料仓顶部设置有加料口，加料口与储存腔相通，所述传输管输入端与料仓底部连通，并在传输管上设置有开关阀，所述传输管输出端位于翻转箱上方区域，所述处理箱安装在底座顶部右半区域，并在处理箱内设置有处理腔，所述处理箱顶部设置有进出口，所述进出口与处理腔相通，所述处理箱左侧壁和右侧壁分别设置有两组第一通孔，所述驱动轴和传动轴一端分别穿过两组第一通孔，并且驱动轴和传动轴另一端分别与左转盘和右转盘连接，所述驱动轴与放翻转箱连接，所述翻转箱内设置有工作腔，并在翻转箱顶部设置有进料口，进料口与工作腔相通，所述翻转箱右侧壁上设置有第二通孔，所述传动轴穿过第二通孔伸入至翻转箱中，所述驱动轴和传动轴与两组第一通孔内壁之间分别设置有两组第一机械密封件，并且传动轴与第二通孔内壁之间设置有第二机械密封件，所述多组搅拌叶均位于翻转箱中，并且多组搅拌叶均安装在传动轴上，所述过滤网横向安装在处理箱内下半区域，所述排液管输入端与处理箱右侧壁底部连通。

本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，还包括两组限位杆、两组移动环、两组移动把手、两组固定杆和刮板，所述两组限位杆左右两端分别与处理箱内左侧壁和内右侧壁上半区域连接，所述两组移动环分别套装至两组限位杆上，所述两组移动把手分别安装在两组移动环上，所述两组固定杆两端分别与两组移动环和刮板连接，所述刮板与过滤网顶部接触。

本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，所述处理箱左侧壁和右侧壁上分别设置有两组清理口，两组清理口均与处理腔相通，并在两组清理口处分别设置有两组密封盖，两组密封盖通过多组合页固定在处理箱上，并且两组密封盖密封安装在两组清理口处。

本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，还包括两组移动把手、两组固定绳、两组固定环和两组固定钩，所述两组移动把手分别安装在两组密封盖上，所述两组固定绳两端分别与两组移动把手和两组固定钩连接，所述两组固定环分别安装在处理箱左侧壁和右侧壁上。

本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，还包括左旋转把手、右旋转把手、套环和定位绳，所述左旋转把手和右旋转把手分别安装在左转盘和右转盘上，所述定位绳两端分别与套环和底座顶部连接，并且套环套装至左旋转把手上。