[发明专利]一种面板缺陷分层检测装置和方法在审
申请号: | 201910846338.1 | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN110658206A | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 张玉;洪志坤;欧昌东;郑增强;张胜森 | 申请(专利权)人: | 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;G01N21/88 |
代理公司: | 42222 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 胡琦旖 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 成像单元 偏光元件 相机组件 图像 透光轴 光源 垂直入射 方向平行 分层检测 光源产生 灰尘过滤 检测信息 面板表面 面板检测 面板缺陷 内部缺陷 缺陷位置 和面板 偏光层 侧面 | ||
1.一种面板缺陷分层检测装置,其特征在于,待测面板具有内偏光层、上表面层、下表面层,所述内偏光层位于所述上表面层和所述下表面层之间,检测装置包括:
第一成像单元,所述第一成像单元设置于所述待测面板的所述上表面层的上方;所述第一成像单元包括第一相机组件、第一偏光元件,所述第一偏光元件位于所述第一相机组件与所述待测面板之间;所述第一偏光元件的透光轴方向可调;
第二成像单元,所述第二成像单元设置于所述待测面板的所述下表面层的下方;所述第二成像单元包括第二相机组件、第二偏光元件,所述第二偏光元件位于所述第二相机组件与所述待测面板之间;所述第二偏光元件的透光轴方向可调;
光源,所述光源设置于所述待测面板的侧面,所述光源产生的光垂直入射至所述待测面板的侧面。
2.根据权利要求1所述的面板缺陷分层检测装置,其特征在于,还包括:PC端;所述PC端分别与所述光源、所述第一相机组件、所述第二相机组件、所述第一偏光元件、所述第二偏光元件连通。
3.根据权利要求1所述的面板缺陷分层检测装置,其特征在于,所述第一偏振元件、所述第二偏振元件为线偏振片。
4.根据权利要求1所述的面板缺陷分层检测装置,其特征在于,所述第一偏振元件、所述第二偏振元件为圆偏振片。
5.根据权利要求1所述的面板缺陷分层检测装置,其特征在于,所述光源包括:第一光源、第二光源;所述第一光源、所述第二光源分别设置于所述待测面板的两侧。
6.根据权利要求1所述的面板缺陷分层检测装置,其特征在于,所述第一相机组件包括第一相机、第一测试镜头,所述第一测试镜头安装在所述第一相机上;所述第二相机组件包括第二相机、第二测试镜头,所述第二测试镜头安装在所述第二相机上。
7.一种面板缺陷分层检测方法,其特征在于,应用如权利要求1-6中任一所述的面板缺陷分层检测装置进行面板缺陷分层检测,方法包括以下步骤:
步骤1、打开所述光源,所述光源产生的光垂直入射至所述待测面板的侧面;
步骤2、将所述第一偏光元件、所述第二偏光元件的透光轴方向分别调节至与所述内偏光层的透光轴方向平行;
步骤3、通过所述第一相机组件获得第一图像,通过所述第二相机组件获得第二图像;
步骤4、根据所述第一图像、所述第二图像得到第一检测信息。
8.根据权利要求7所述的面板缺陷分层检测方法,其特征在于,所述步骤3中,所述第一相机组件和所述第二相机组件同步进行图像采集。
9.根据权利要求7所述的面板缺陷分层检测方法,其特征在于,所述内偏光层与所述上表面层之间为第一内层,所述内偏光层与所述下表面层之间为第二内层,所述方法还包括以下步骤:
步骤5、将所述第一偏光元件、所述第二偏光元件的透光轴方向分别调节至与所述内偏光层的透光轴方向垂直;
步骤6、通过所述第一相机组件获得第三图像,通过所述第二相机组件获得第四图像;
步骤7、根据所述第一图像、所述第二图像、所述第三图像、所述第四图像得到第二检测信息。
10.根据权利要求9所述的面板缺陷分层检测方法,其特征在于,所述步骤6中,所述第一相机组件和所述第二相机组件同步进行图像采集。
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