[发明专利]一种叉指换能器有效
| 申请号： | 201910847280.2 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110572136B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 张树民;王国浩;汪泉;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/145 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 项军 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 叉指换能器 | ||
1.一种叉指换能器，其特征在于，包括：
压电基板；
第一汇流电极，设置在所述压电基板上；
第二汇流电极，设置在所述压电基板上，且与所述第一汇流电极相对间隔设置；
呈周期设置的多个第一叉指电极，所述第一叉指电极自所述第一汇流电极向所述第二汇流电极的方向延伸；
呈周期设置的多个第二叉指电极，所述第二叉指电极自所述第二汇流电极向所述第一汇流电极的方向延伸；
所述第一叉指电极和所述第二叉指电极交替间隔设置，并且，在沿其长度方向上，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度呈预设变化；
所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度先变小后变大或先变大后变小。
2.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度呈周期性先变大后变小。
3.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度呈周期性先变小后变大。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的叉指换能器，其特征在于，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的金属化比值范围均为0.2～0.8；
其中，所述第一叉指电极的金属化比值为所述第一叉指电极的宽度与该宽度和其相邻第二叉指电极之间的间隙总和的比值；
所述第二叉指电极的金属化比值为所述第二叉指电极的宽度与该宽度和其相邻第一叉指电极之间的间隙总和的比值。
5.根据权利要求1至3中任意一项所述的叉指换能器，其特征在于，在沿所述第一叉指电极的长度方向上，所述第一叉指电极宽度呈预设变化的长度为所述第一叉指电极长度的1/3～2/3；和/或，
在沿所述第二叉指电极的长度方向上，所述第二叉指电极宽度呈预设变化的长度为所述第二叉指电极长度的1/3～2/3。
6.根据权利要求5所述的叉指换能器，其特征在于，所述第一叉指电极宽度呈预设变化的区域为其长度方向的中央区域处；和/或，
所述第二叉指电极宽度呈预设变化的区域为其长度方向的中央区域处。
7.根据权利要求1～3任意一项所述的叉指换能器，其特征在于，所述第一叉指电极为铝叉指电极或铜叉指电极；和/或，
所述第二叉指电极为铝叉指电极或铜叉指电极。
8.根据权利要求1～3任意一项所述的叉指换能器，其特征在于，所述压电基板为钽酸锂压电基板、铌酸锂压电基板和石英基板中任意一者。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州左蓝微电子技术有限公司，未经杭州左蓝微电子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910847280.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高频声波谐振器及其制备方法
- 下一篇：一种声波器件及滤波装置
