[发明专利]一种叉指换能器

说明书

本发明提供一种叉指换能器，包括：压电基板；设置在压电基板上的第一汇流电极；设置在压电基板上的第二汇流电极，且与所述第一汇流电极相对间隔设置；呈周期设置的多个第一叉指电极，该叉指电极自第一汇流电极向第二汇流电极的方向延伸；呈周期设置的多个第二叉指电极，该叉指电极自第二汇流电极向第一汇流电极的方向延伸；第一叉指电极和第二叉指电极交替间隔设置，并且，在沿其长度方向上，第一叉指电极和第二叉指电极的宽度呈预设变化。本发明提供的叉指换能器通过第一叉指电极和第二叉指电极的宽度呈预设变化，进而改变叉指电极的金属化比值，以调节各部分的SAW速度，达到抑制温度补偿声表面波器件中的横向模式。

技术领域

本发明涉及一种微电子器件，具体涉及一种叉指换能器。

背景技术

声表面波温度补偿滤波器(Temperature Compensated-Surface Acoustic Wave，TC-SAW)一个重要的设计考虑因素是抑制横向传播模式，由于声表面波器件叉指换能器(Interdigital Transducer,IDT)孔径有限，声表面波在传播过程中存在衍射和波束偏斜，根据平面角谱理论，声波的衍射积分场为：

(汪承灏,《超声学》，应崇福主编，科学出版社，1990，第338-455页)

其中，γ是基片的各向异性常数且有

从上式可知，如果基片上声表面波的各向异性常数γ＝-1，声场在传播方向上将保持孔径剖面形状不变，即没有横向传播模式。然而，现有材料的各向异性常数都不是-1，尤其对于温度补偿声表面波器件，存在着很严重的横向模式。现在TC-SAW中抑制横向模式的通常方法是在电极两端设置piston结构，即在电极两端设置加厚或加粗的小段区域，末端呈T型结构，入射SAW与反射SAW相互抵消，把SAW的能量束缚在中间IDT波导内，限制SAW向IDT的外侧传播，类似于全反射光纤，而这种模式只是在叉指电极的末端增加用于过补偿的方块，其固化的几何结构起到抑制温度补偿声表面波器件中的横向传播有限，这在一定程度上限制了声表面波器件的应用范围。因此，开发一种在不改变整体结构的叉指换能器上通过调整其某个部件特性来抑制温度补偿声表面波器件中的横向模式很有必要。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种叉指换能器。

本发明主要提供一种叉指换能器，包括：

压电基板；

第一汇流电极，设置在所述压电基板上；

第二汇流电极，设置在所述压电基板上，且与所述第一汇流电极相对间隔设置；

呈周期设置的多个第一叉指电极，所述第一叉指电极自所述第一汇流电极向所述第二汇流电极的方向延伸；

呈周期设置的多个第二叉指电极，所述第二叉指电极自所述第二汇流电极向所述第一汇流电极的方向延伸；

所述第一叉指电极和所述第二叉指电极交替间隔设置，并且，在沿其长度方向上，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度呈预设变化。

可选的，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度先变小后变大。

可选的，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度先变大后变小。

可选的，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度呈周期性先变大后变小。

可选的，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的宽度呈周期性先变小后变大。

可选的，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的金属化比值范围均为0.2～0.8；

其中，所述第一叉指电极的金属化比值为所述第一叉指电极的宽度与该宽度和其相邻第二叉指电极之间的间隙总和的比值；