[发明专利]6750nm长波通红外滤光敏感元件

说明书

本发明公开一种6750nm长波通红外滤光敏感元件，包括基板、第一镀膜层和第二镀膜层，其中基板设于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其中第一镀膜层包括12组交替设置的Ge层和ZnS层，第二镀膜层包括13组交替设置的Ge层和ZnS层。本发明所设计的6750nm长波通红外滤光敏感元件的性能参数最佳可达到：5％Cut on＝6750±50nm，6900～14000nm，Tavg≥86％，7000～14000nm，Tavg≥84％，3200～6500nm，Tavg≤3％。

技术领域

本发明涉及红外滤光敏感元件领域，尤其是一种6750nm长波通红外滤光敏感元件。

背景技术

红外热成像仪(热成像仪或红外热成像仪)是通过非接触探测红外能量(热量)，并将其转换为电信号，进而在显示器上生成热图像和温度值，并可以对温度值进行计算的一种检测设备。红外热成像仪(热成像仪或红外热成像仪)能够将探测到的热量精确量化或测量，使您不仅能够观察热图像，还能够对发热的故障区域进行准确识别和严格分析。

红外热成像仪的探测器是实现红外能量(热能)转换电信号的关键，由于各种生物所发出来的红外能量(热能)是不同的，所以在日常使用中为了观察某种特定生物的热图像，人们往往会在探测器中添加红外滤光片，通过红外滤光片可以使探测器只接受特定波段的红外能量(热能)，保证红外热成像仪的成像结果。

但是，目前的红外滤光敏感元件，其信噪比低，精度差，不能满足市场发展的需要。为解决该技术问题，现有技术公开了一种6000nm长波通红外滤光敏感元件(CN104597538A)，该滤光敏感元件5％Cut on＝6000±300nm，7500～13500nm，Tavg≥70％，400～5500nm，Tavg≤0.1％，T≤3.0％；还公开一种7600nm长波通红外滤光敏感元件(CN104597543A)，该滤光敏感元件50％Cut on＝7600±50nm，7700～11000nm，Tavg≥90％，8000～11000nm，T≥88％，1500～7400nm，T≤3％；均不适用于6750nm长波通红外滤光的情况，故需要对现有技术做进一步改进。

发明内容

本发明针对现有技术中的缺点，提供了一种6750nm长波通红外滤光敏感元件。

为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：

一种6750nm长波通红外滤光敏感元件，包括基板、第一镀膜层和第二镀膜层，其中基板设于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征在于：

所述基板为Ge基板；

所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有322～342nm厚度的Ge层、273～293nm厚度的ZnS层、236～256nm厚度的Ge层、403～423nm厚度的ZnS层、137～157nm厚度的Ge层、474～494nm厚度的ZnS层、227～247nm厚度的Ge层、458～478nm厚度的ZnS层、237～257nm厚度的Ge层、341～361nm厚度的ZnS层、163～183nm厚度的Ge层、523～543nm厚度的ZnS层、224～244nm厚度的Ge层、564～584nm厚度的ZnS层、364～384nm厚度的Ge层、447～467nm厚度的ZnS层、309～329nm厚度的Ge层、783～803nm厚度的ZnS层、182～202nm厚度的Ge层、671～691nm厚度的ZnS层、432～452nm厚度的Ge层、237～257nm厚度的ZnS层、421～441nm厚度的Ge层、1178～1198nm厚度的ZnS层；