[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统在审
申请号: | 201910853656.0 | 申请日: | 2019-09-10 |
公开(公告)号: | CN111394727A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 陈仁华;聂国勇;李建立 | 申请(专利权)人: | 长沙利洁环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C23F1/18;C25C1/12;C25C7/06;C25B1/26;C25B15/08;B01D53/18 |
代理公司: | 长沙优企知识产权代理事务所(普通合伙) 43243 | 代理人: | 刘佳芳 |
地址: | 410000 湖南省长沙市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 酸性 蚀刻 循环 再生 系统 | ||
1.一种酸性蚀刻液循环再生系统,包括蚀刻线(4)和电解槽(30),其特征在于,还包括循环槽(20)、氯气吸收回用塔(10)、母液储备桶(5)和再生液储备桶(6);
所述电解槽(30)内设有阳极区(301)和阴极区(302);
所述循环槽(20)包括槽体,所述槽体的底部通过隔板分割为阳极循环区(229)、蚀刻循环区(230)和阴极循环区(231),其中蚀刻循环区(230)和阳极循环区(229)顶部相通;
所述电解槽的阳极区(301)分别与循环槽的阳极循环区(229)和蚀刻循环区(230)连通;所述电解槽的阴极区(302)与阴极循环区(231)相互连通;所述电解槽的阳极区(301)和阴极区(302)以及所述循环槽(20)的蚀刻循环区(230)、阴极循环区(231)与氯气吸收回用塔(10)连通;所述氯气吸收回用塔(10)与循环槽(20)的阳极循环区(229)连通;
所述母液储备桶(5)与阳极循环区(229)、蚀刻循环区(230)和阴极循环区(231)连通;
所述再生液储备桶(6)与阳极循环区(229)和阴极循环区(230)连通;
所述循环槽的阳极循环区(229)与蚀刻线(4)连通,所述蚀刻线(4)与循环槽的蚀刻循环区(230)连通。
2.根据权利要求1所述酸性蚀刻液循环再生系统,其特征是,所述电解槽(30)内设置至少一个阳极膜框(313),将电解槽形成分开的阳极区和阴极区;所述阳极膜框(313)包括离子膜(346)、框体(345),所述框体(345)顶部设有阳极膜框溢流口(314),所述框体(345)的底部和左右边缘密封,所述框体(345)前后两个侧面分别设有离子膜(346),所述离子膜(346)的外侧分别设有保护膜(347),所述保护膜(347)的外侧分别设有固定挡板(348),所述离子膜(346)、保护膜(347)和固定挡板(348)依次固定在框体(345)的两侧面,形成一个闭合的空腔;所述阳极膜框(313)空腔内设有阳极板(318),所述阳极膜框(313)空腔外设有阴极板,所述电解槽(30)顶部设有电解槽排气管。
3.根据权利要求2所述酸性蚀刻液循环再生系统,其特征是,所述电解槽(30)的槽体槽壁上设有阳极溢流槽(315)和阴极溢流槽(324);
所述电解槽槽体(303)侧壁设有阳极区进水管(310),阳极区进水管(310)上连接若干支管,每根支管上都安装有阳极膜框进水管调节阀门(311),阳极膜框进水管调节阀门(311)连接阳极膜框进水管(312),阳极膜框进水管(312)深入阳极膜框(313)一侧的底部;所述阳极膜框(313)顶部一侧设有阳极膜框溢流口(314),所述阳极膜框溢流口(314)与阳极溢流槽(315)和阳极溢流槽接口(316)连通;
所述电解槽槽体(303)底部设有阴极进水管阀门(320),阴极进水管阀门(320)与阴极区进水管(331)连通,阴极区进水管(331)上连接若干阴极区循环喷淋管(321), 阴极区循环喷淋管(321)朝槽底的方向开了喷淋孔,所述阴极区循环喷淋管(321)与阴极区(302)连通,阴极区(302)顶部设有阴极溢流口(323),所述阴极溢流口(323)与阴极溢流槽(324)和阴极溢流槽接口(325)连通。
4.根据权利要求2所述酸性蚀刻废液铜回收及废液再生电解槽,其特征是,所述电解槽槽体(303)顶部侧壁设有废气连通孔(341),废气连通孔(341)与废气管(342)、废气排放连接口(343)连通。
5.根据权利要求2所述酸性蚀刻废液铜回收及废液再生电解槽,其特征是,所述电解槽槽体(303)槽底设有支撑架(319)。
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