[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统在审
申请号: | 201910853656.0 | 申请日: | 2019-09-10 |
公开(公告)号: | CN111394727A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 陈仁华;聂国勇;李建立 | 申请(专利权)人: | 长沙利洁环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C23F1/18;C25C1/12;C25C7/06;C25B1/26;C25B15/08;B01D53/18 |
代理公司: | 长沙优企知识产权代理事务所(普通合伙) 43243 | 代理人: | 刘佳芳 |
地址: | 410000 湖南省长沙市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 酸性 蚀刻 循环 再生 系统 | ||
本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生系统,包括电解槽(30)、循环槽(20)、氯气吸收回用塔(10);所述电解槽(30)内设有阳极区(301)和阴极区(302);所述循环槽(20)分为阳极循环区(229)、蚀刻循环区(230)和阴极循环区(231);所述电解槽的阳极区(301)分别与循环槽的阳极循环区(229)和蚀刻循环区(230)连通;所述电解槽的阴极区(302)与阴极循环区(231)相互连通;所述电解槽的阳极区(301)和阴极区(302)以及所述循环槽(20)的蚀刻循环区(230)、阴极循环区(231)与氯气吸收回用塔(10)连通;所述氯气吸收回用塔(10)与阳极循环区(229)连通。该再生系统可以将酸性蚀刻液在线循环再生直接利用,节约成本,且氯气零排放,保护环境。
技术领域
本发明涉及蚀刻技术领域,具体公开了一种酸性蚀刻液循环再生系统。
背景技术
由于蚀刻精度要求越来越高,环境保护压力逐年增大,到目前,绝大多数PCB生产企业均选择使用酸性或碱性氯化铜蚀刻液。酸性氯化铜蚀刻液主要成分为氯化钠、HCl和氯化铜,碱性氯化铜蚀刻液的主要成分为氯化铵,氨水和氯化铜。
酸性氯化铜蚀刻液因具有蚀刻速率快,稳定、易控制及再生等特点,普遍应用于目前的印刷线路板的蚀刻工序中。酸性蚀刻液在蚀刻铜箔的过程中会发生Cu+ Cu2+ →2CuCl的反应。随着反应的进行,蚀刻液中Cu2+离子的浓度减小,而Cu+离子的浓度不断增大,蚀刻能力随之降低。当Cu2+离子消耗至一定程度后,蚀刻液的蚀刻能力将无法满足生产需求而需再生处理。酸性蚀刻液再生主要有化学再生法和电解再生法。化学再生法如氯酸钠氧化法、双氧水再生法等,需加入氧化剂等物质,最终会对外排出一部分酸性蚀刻液,不仅污染坏境,还会造成大量铜和酸的浪费。电解再生法是一种在线再生方法,可以实现蚀刻工作与蚀刻液再生在一个体系中连续运行,即阳极再生蚀刻液的同时,还可以在阴极沉积回收铜,使蚀刻过程中增加的铜得以回收,为线路板企业增加额外的收入。而现已经报道的电解处理酸性氯化铜蚀刻液方法,有大量氯气、氢气等有害危险气体析出,不仅污染坏境,而且也浪费资源。
关于酸性蚀刻液的循环再生装置已有很多人研究,例如:201610646322.2 公开了一种高含铜蚀刻液再生循环系统,它包括蚀刻线,溶解再生缸、过滤器,蚀刻线与溶解再生缸通过管道连接,且在该管道上设置有废液提升泵,溶解再生缸与过滤器通过管道连接,且在该管道上设置有蚀刻液提升泵,过滤器与蚀刻线连通。
公开号为CN106119853A的中国专利申请公开了一种“高效零排放废酸性铜蚀刻液
回收及再生系统”,由铜电解回收装置和再生装置两部分组成,但是该系统运行时间冗长,一个循环周期约为20~100小时,而且铜片的回收效率较低。
发明内容
为解决背景技术中存在的技术问题,本发明提出一种酸性蚀刻液循环再生系统。该装置直接与蚀刻线连通,可以将酸性蚀刻液实现在线循环再生直接利用,节约成本,且氯气零排放,保护环境。
一种酸性蚀刻液循环再生系统,包括蚀刻线和电解槽,还包括循环槽、氯气吸收回用塔、母液储备桶和再生液储备桶;
所述电解槽内设有阳极区和阴极区;
所述循环槽包括槽体,所述槽体的底部通过隔板分割为阳极循环区、蚀刻循环区和阴极循环区,其中蚀刻循环区和阳极循环区顶部相通;
所述电解槽的阳极区分别与循环槽的阳极循环区和蚀刻循环区连通;所述电解槽的阴极区与阴极循环区相互连通;所述电解槽的阳极区和阴极区以及所述循环槽的蚀刻循环区、阴极循环区与氯气吸收回用塔连通;所述氯气吸收回用塔与循环槽的阳极循环区连通;
所述母液储备桶与阳极循环区、蚀刻循环区和阴极循环区连通;
所述再生液储备桶与阳极循环区和阴极循环区连通;
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