[发明专利]一种抛光垫的修整装置及修整方法有效
申请号: | 201910865033.5 | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN110625528B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 赵晟佑 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B24B53/017 | 分类号: | B24B53/017;B24B53/12 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;胡影 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光 修整 装置 方法 | ||
1.一种抛光垫的修整装置,其特征在于,包括:
修整器,所述修整器包括呈圆柱状的修整器主体以及开设于所述修整器主体的修整面上的修整槽,所述修整槽包括圆环形槽和位于所述圆环形槽围合区域内的十字槽,所述十字槽的四端均与所述圆环形槽连通;
抛光刷,所述抛光刷包括抛光刷主体,所述抛光刷主体呈弯折的长方体状,所述抛光刷主体的刷头一侧面设有刷毛区,所述刷毛区设有刷毛,所述修整器主体相对于所述修整面的另一面固定连接于所述抛光刷主体的刷头上与所述刷毛区相对的另一侧面。
2.根据权利要求1所述的一种抛光垫的修整装置,其特征在于,所述修整器主体采用氧化铝陶瓷制成。
3.根据权利要求1所述的一种抛光垫的修整装置,其特征在于,所述修整器主体的厚度为15~20mm、直径为100~150mm。
4.根据权利要求1所述的一种抛光垫的修整装置,其特征在于,所述修整槽的槽体宽度为1~5mm、深度为1~5mm。
5.根据权利要求1所述的一种抛光垫的修整装置,其特征在于,所述修整器主体通过聚四氟乙烯螺栓与所述抛光刷的刷头相连。
6.一种抛光垫的修整方法,应用于如权利要求1-5中任一项所述的修整装置,其特征在于,所述修整方法包括:
修整步骤:控制所述修整器的修整面与所述抛光垫的抛光面相接触,并控制所述修整器在震荡的同时自所述抛光垫的中心向所述抛光垫的边缘移动。
7.根据权利要求6所述的一种抛光垫的修整方法,其特征在于,在所述修整步骤中:
控制所述修整器的修整面与所述抛光垫的抛光面相接触的同时,控制所述抛光垫做自转运动和/或控制所述修整器做自转运动。
8.根据权利要求6所述的一种抛光垫的修整方法,其特征在于,所述修整装置包括抛光刷,所述抛光刷的刷头一侧面设有刷毛区,所述刷毛区设有刷毛,所述修整器主体相对于所述修整面的另一面固定连接于所述抛光刷的刷头上与所述刷毛区相对的另一侧面,在所述修整步骤之前,所述修整方法还包括以下步骤:
清洗步骤:控制所述抛光垫做自转运动,控制所述抛光刷的刷毛区的刷毛与所述抛光垫的抛光面相接触的同时使所述抛光刷的刷头自所述抛光垫的中心向所述抛光垫的边缘移动。
9.根据权利要求8所述的一种抛光垫的修整方法,其特征在于,还包括:
在进行所述修整步骤的过程中,向所述修整器与所述抛光垫的接触区域喷射去离子水;和/或,
在进行所述清洗步骤的过程中,向所述抛光刷的刷毛与所述抛光垫的接触区域喷射去离子水。
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