[发明专利]支撑衬底、剥离装置、柔性显示面板及其制备方法有效
申请号: | 201910866142.9 | 申请日: | 2019-09-12 |
公开(公告)号: | CN110556330B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 吴昊;赵欢;蔡俊飞;殷汉权;李骄阳;周晓梁 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L27/32;H01L51/00 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 董娟 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑 衬底 剥离 装置 柔性 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
本申请涉及一种支撑衬底、剥离装置、柔性显示面板及其制备方法。该支撑衬底,包括:刚性基板;设置于所述刚性基板上的牺牲层,牺牲层包括形变层,形变层可在预设的触发条件下收缩;保护层,设置于牺牲层上,用于将预设的触发条件隔离于保护层与刚性基板之间。应用本申请的支撑衬底制作柔性显示面板的过程中,刚性基底剥离时,形变层发生收缩,使刚性基板和形变层与柔性显示面板分离,无需再使用激光将柔性层的分子链断裂,降低了柔性显示面板的制作难度。且不会对柔性显示面板产生不良影响,有利于产品良率的提高。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,特别是涉及一种支撑衬底、剥离装置、柔性显示面板及其制备方法。
背景技术
随着显示行业的发展,出现了柔性显示技术。柔性显示面板通常是在形成于刚性基底上的柔性层上加工制作其他功能膜层后,最后再将显示面板从刚性基底上剥离,从而实现显示面板的柔性化。
发明内容
基于此,有必要针对上述技术问题,提供一种支撑衬底、剥离装置、柔性显示面板及其制备方法。
第一方面,提供一种支撑衬底,包括:
刚性基板;
牺牲层,设置于所述刚性基板上,所述牺牲层包括形变层,所述形变层可在预设的触发条件下收缩;
保护层,设置于所述牺牲层上,用于将所述预设的触发条件隔离于所述保护层与所述刚性基板之间。
在一个实施例中,所述牺牲层还包括第二牺牲层;所述第二牺牲层设置于所述形变层和所述保护层之间;
其中,所述形变层具有凹槽,所述第二牺牲层具有凸起结构,所述第二牺牲层的凸起结构填充于所述形变层的凹槽内。
在一个实施例中,所述形变层的材料包括具有多孔粒子的有机材料;
优选地,所述有机材料包括聚酰亚胺;
优选地,所述多孔粒子的材料包括分子筛,MOFs,COFs,多孔炭,多孔硅。
在一个实施例中,所述形变层的凹槽的形状包括非封闭的圆形或正梯形;所述第二牺牲层的凸起结构的形状包括非封闭的圆形或正梯形;
优选地,所述第二牺牲层的凸起结构填满所述形变层的凹槽。
在一个实施例中,所述形变层收缩的预设的触发条件包括升温、降温或光照的至少一种;
所述形变层收缩的预设的触发条件为升温或降温,所述保护层为隔热层;
所述形变层收缩的预设的触发条件为光照,所述保护层为反光层。
第二方面,提供一种剥离装置,用于剥离上述任一实施例所述的支撑衬底,所述剥离装置包括:剥离装置本体;
设置于所述剥离装置本体上的吸附装置;所述吸附装置包括真空吸盘和触发条件产生装置;提供触发条件使所述支撑衬底的形变层收缩。
优选地,所述吸附装置还包括支撑转轴,用于转动所述吸附装置,使所述支撑衬底剥离。
优选地,所述触发条件产生装置设置于所述真空吸盘内。
优选地,所述触发条件产生装置包括升温装置、降温装置或光源的至少一种。
第三方面,提供一种柔性显示面板的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:
提供柔性显示面板的预制件,所述柔性显示面板的预制件包括第一方面任一实施例所述的支撑衬底,和设置于所述支撑衬底的保护层上的柔性显示面板;所述柔性显示面板包括显示区和非显示区;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造