[发明专利]一种光刻机导正结构

权利要求书

1.一种光刻机导正结构，其特征在于，包括：

转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接，所述第一气缸用于驱动所述托板上下移动；

第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过，若干所述滚轮轴用于输送产品沿X轴方向移动；

第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二气缸用于驱动若干所述输送组件上下移动，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二电机用于驱动若干所述输送组件运行，若干所述输送组件用于输送所述产品沿Y轴方向移动。

2.根据权利要求1所述光刻机导正结构，其特征在于，每一所述滚轮轴均包括：一滚轴和若干滚轮，所述第一电机与所述滚轴传动连接，若干所述滚轮均设于所述滚轴上，若干所述滚轮分别与所述滚轴固定连接，且若干所述滚轮与所述滚轴同轴设置，若干所述滚轮的上表面均处于同一第一平面上，所述托板供若干所述滚轮的上表面穿过，若干所述滚轮用于输送所述产品沿X轴方向移动。

3.根据权利要求2所述光刻机导正结构，其特征在于，每一所述输送组件均包括：一主动轮、若干从动轮组和一输送带，所述第二电机与所述主动轮传动连接，若干所述从动轮组、所述主动轮均与所述输送带传动连接，若干所述输送带的上表面均处于同一第二平面上，所述托板分别供若干所述输送带的上表面穿过，若干所述输送带用于输送所述产品沿Y轴方向移动。

4.根据权利要求3所述光刻机导正结构，其特征在于，每一所述从动轮组均包括：三从动轮，一所述从动轮的上表面高于另外两所述从动轮的上表面，三所述从动轮均与所述输送带传动连接。

5.根据权利要求3所述光刻机导正结构，其特征在于，每一所述输送组件还包括：

一输送带安装板，所述第二气缸与所述输送带安装板传动连接，所述第二气缸用于驱动所述输送组件上下移动；

若干安装架，若干所述安装架均设于所述输送带安装板上，若干所述从动轮、所述主动轮分别与若干所述安装架转动连接。

6.根据权利要求1所述光刻机导正结构，其特征在于，还包括：

第一挡板，所述第一挡板设于所述托板的上方，所述第一挡板用于限制所述产品在X轴方向上的移动位置；

第二档板，所述第二挡板设于所述托板的上方，所述第二挡板用于限制所述产品在Y轴方向上的移动位置。

7.根据权利要求1所述光刻机导正结构，其特征在于，所述转换机构还包括：若干托板连接杆和一动板，所述动板与所述第一气缸传动连接，所述动板通过若干所述托板连接杆与所述托板固定连接，若干所述托板连接杆均呈竖直设置。

8.根据权利要求3所述光刻机导正结构，其特征在于，所述托板上设有若干第一通槽和若干第二通槽，若干所述第一通槽分别供若干所述滚轮的上表面穿过，若干所述第二通槽分别供若干所述输送带的上表面穿过。

9.根据权利要求3所述光刻机导正结构，其特征在于，还包括：

滚轮轴承座安装板，所述滚轮轴承安装板设于所述托板的一端，若干所述滚轴的一端分别通过第一轴承座与所述滚轮轴承座安装板转动连接；

电机安装板，所述电机安装板设于所述托板的另一端，所述第一电机设于所述电机安装板上，若干所述滚轴的另一端分别穿过所述电机安装板；

滚轮支撑板，所述滚轮支撑板设于所述电机安装板远离所述滚轮轴承座安装板的一侧，若干所述滚轴的另一端分别通过第二轴承座与所述滚轮支撑板转动连接；

固定板，所述固定板的两端分别与所述滚轮轴承座安装板的下端、所述电机安装板的下端固定连接，所述动板活动设于所述固定板的下方，若干所述托板连接杆均穿过所述固定板；

若干支撑杆，若干所述支撑杆的两端分别与所述滚轮轴承座安装板、所述电机安装板固定连接。

10.根据权利要求9所述光刻机导正结构，其特征在于，还包括：电机调速器，所述电机调速器设于所述电机安装板上，所述电机调速器分别与所述第一电机、所述第二电机信号连接，所述电机调速器分别用于调节所述第一电机、所述第二电机的传动速度。