[发明专利]一种利用气相色谱仪测定MO源纯度的方法在审
申请号: | 201910868360.6 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN110568102A | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 顾宏伟;茅嘉原;洪海燕;於婷婷;周俊臣 | 申请(专利权)人: | 苏州普耀光电材料有限公司 |
主分类号: | G01N30/02 | 分类号: | G01N30/02;G01N30/06;G01N30/60 |
代理公司: | 32293 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人: | 李凤娇 |
地址: | 215124 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气相色谱仪 进样系统 样品瓶 惰性气体保护 峰面积归一法 样品处理过程 氢气 固定液 色谱图 色谱柱 检测 手套 放入 硅油 互溶 进样 载气 震荡 | ||
1.一种利用气相色谱仪测定MO源纯度的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)在惰性气体保护下,取待测MO源,放入样品瓶中,然后取NMP溶液加入上述样品瓶中,充分震荡,使MO源与NMP溶液完全互溶,得到样品NM P溶液;
(2)将进样系统置于惰性手套箱内;
(3)利用进样系统,采用氢气为载气,将样品NMP溶液进样于气相色谱仪中,该气相色谱仪采用硅油固定液色谱柱;
(4)根据气相色谱仪得到的色谱图,利用峰面积归一法测定MO源纯度。
2.根据权利要求1所述的一种利用气相色谱仪测定MO源纯度的方法,其特征在于:所述MO源为三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三甲基铝、二茂镁中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种利用气相色谱仪测定MO源纯度的方法,其特征在于:所述惰性气体为氮气。
4.根据权利要求1所述的一种利用气相色谱仪测定MO源纯度的方法,其特征在于:所述色谱柱柱温为240℃。
5.根据权利要求1所述的一种利用气相色谱仪测定MO源纯度的方法,其特征在于:所述载气的温度为260℃。
6.根据权利要求1所述的一种利用气相色谱仪测定MO源纯度的方法,其特征在于:所述NMP溶液用精馏方法进行提纯,并控制其杂质总含量小于50ppb。
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