[发明专利]一种彩膜基板、显示面板及其制备方法在审
申请号: | 201910869218.3 | 申请日: | 2019-09-16 |
公开(公告)号: | CN110676293A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 张良芬 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人: | 杨瑞 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光阻层 辅助阴极 黑色矩阵 显示面板 阴极层 制备 黑色矩阵区域 彩膜基板 压降 薄膜晶体管 非黑色矩阵 玻璃基板 依次设置 半透光 色阻层 背板 搭接 电阻 贴合 阻抗 | ||
1.一种彩膜基板,其特征在于,包括依次设置的辅助阴极层、光阻层、RGB色阻层、黑色矩阵和玻璃基板,其中所述黑色矩阵正下方区域的所述光阻层的厚度大于非黑色矩阵下的所述光阻层的厚度,所述辅助阴极层设置于所述黑色矩阵区域下方的所述光阻层的下方。
2.一种显示面板,其特征在于,包括依次设置的薄膜晶体管基板、阳极层、平坦层、有机发光层、阴极层和根据权利要求1所述的彩膜基板;其中所述辅助阴极层与所述阴极层相接。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述阳极层采用的材料包括铟锡金属氧化物或银金属中的一种。
4.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述平坦层采用的材料为聚酰亚胺薄膜。
5.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管基板包括依次设置的基板层、遮光层、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极层、层间介质层、源漏极层和有机层。
6.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述源漏极层采用的材料包括钼、铝、钛、铜或铟锡金属氧化物中的一种。
7.一种制备根据权利要求2-6任一项所述的显示面板的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1:提供一薄膜晶体管基板,在所述薄膜晶体管基板上制备阳极层;
步骤S2:在所述阳极层上制备平坦层;
步骤S3:在所述平坦层上制备有机发光层;
步骤S4:在所述有机发光层上制备阴极层,形成薄膜晶体管背板;
步骤S5:提供一玻璃基板,在所述玻璃基板上制备黑色矩阵;
步骤S6:在所述黑色矩阵上制备RGB色阻层;
步骤S7:在所述RGB色阻层上制备光阻层,其中所述黑色矩阵区域上方的所述光阻层的厚度大于非黑色矩阵区域上的所述光阻层的厚度;
步骤S8:在所述黑色矩阵区域上方的所述光阻层的上方制备辅助电极层,形成彩膜基板;
步骤S9:将所述薄膜晶体管背板和所述彩膜基板贴合。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述平坦层是采用化学气相沉积方式制备的。
9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述光阻层是采用半透光罩技术或两道光罩的方法制备的。
10.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S9是通过封装的方式将所述薄膜晶体管背板和所述彩膜基板贴合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的