[发明专利]集成芯片及其形成方法有效
申请号: | 201910870363.3 | 申请日: | 2019-09-16 |
公开(公告)号: | CN110957326B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 黄文铎;李秉澄;施宏霖;刘珀玮;许佑凌;才永轩;林佳盛;杨世匡 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11521 | 分类号: | H01L27/11521;H01L27/11526;H01L27/11568;H01L27/11573;H01L23/50 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成 芯片 及其 形成 方法 | ||
1.一种集成芯片,包括:
存储器阵列,包括多行和多列中的多个单元,其中,所述单元包括沿着所述存储器阵列的第一行间隔开的多个第一类型带状单元,并且还包括沿着所述第一行间隔开的多个第二类型带状单元;
字线和控制栅极,沿着所述第一行延伸并且部分地限定所述第一行中的所述存储器阵列的单元;
字线带状线,沿着所述第一行在所述存储器阵列之上的第一高度处延伸,并且电耦合到所述第一类型带状单元和所述第二类型带状单元处的所述字线;以及
控制栅极带状线,沿着所述第一行在所述存储器阵列之上的第二高度处延伸并且电耦合到所述第一类型带状单元处的所述控制栅极,而不电耦合到所述第二类型带状单元处的控制栅极,其中,所述第一高度和所述第二高度不同。
2.根据权利要求1所述的集成芯片,其中,所述字线和所述控制栅极包括多晶硅,并且其中,所述字线带状线和所述控制栅极带状线包括金属。
3.根据权利要求1所述的集成芯片,其中,所述第一高度小于所述第二高度。
4.根据权利要求1所述的集成芯片,其中,所述单元还包括沿着所述第一行间隔开的多个第三类型带状单元,并且其中,所述集成芯片还包括:
擦除栅极,沿着所述第一行延伸并且部分地限定所述第一行中的所述存储器阵列的所述单元;以及
擦除栅极带状线,沿着所述第一行在所述存储器阵列之上的第三高度处延伸并且电耦合到所述第三类型带状单元处的所述擦除栅极,但不电耦合到所述第一类型带状单元和所述第二类型带状单元处的擦除栅极,其中,所述第一高度、所述第二高度和所述第三高度不同。
5.根据权利要求4所述的集成芯片,还包括:
包括源极线的衬底,其中,所述源极线沿着所述第一行延伸并且部分地限定所述第一行中的所述存储器阵列的所述单元;以及
源极线带状线,沿着所述第一行在所述第三高度处延伸并且电耦合到所述第三类型带状单元处的所述源极线,但不电耦合到所述第一类型带状单元和所述第二类型带状单元处的源极线。
6.根据权利要求1所述的集成芯片,其中,所述单元还包括沿着所述第一行间隔开的多个第三类型带状单元,并且其中,所述集成芯片还包括:
包括源极线区域的衬底,其中,所述源极线区域沿着所述第一行伸长并且部分地限定所述第一行中的所述存储器阵列的所述单元;以及
源极线带状线,沿着所述第一行在所述存储器阵列之上的第三高度处延伸,并且电耦合到所述第三类型带状单元处的所述源极线区域,但不电耦合到所述第一类型带状单元和所述第二类型带状单元处的源极线区域,其中,所述第一高度、所述第二高度和所述第三高度不同。
7.根据权利要求6所述的集成芯片,其中,所述字线带状线在多个第一位置处电耦合到所述字线,所述多个第一位置沿着所述第一行以第一频率重复,其中,所述源极线带状线在多个第二位置处与所述源极线区域电耦合,所述多个第二位置沿着所述第一行以第二频率重复,并且其中,所述第一频率大于所述第二频率并且是所述第二频率的整数倍。
8.根据权利要求1所述的集成芯片,其中,所述单元包括沿着所述存储器阵列的第一列间隔开的多个存储器单元,并且其中,所述集成芯片还包括:
位线,沿着所述第一列在所述存储器阵列之上的第三高度处延伸并且电耦合到所述存储器单元,其中,所述第一高度、所述第二高度和所述第三高度不同。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的