[发明专利]一种SPR在近红外具有强SERS活性的Ag/TiS

权利要求书

1.一种SPR在近红外具有强SERS活性的Ag/TiS₂分层复合基底，该基底为Ag和TiS₂的复合材料，该复合结构是将Ag和TiS₂通过分层溅射的方式沉积在200nm六方密排阵列的聚苯乙烯小球上获得，其中Ag厚度为10nm，TiS₂厚度为2～10nm。

2.如权利要求1所述的SPR在近红外具有强SERS活性的Ag/TiS₂分层复合基底的制备方法，具体步骤如下：

1)清洗硅片；

2)制备六方密排的聚苯乙烯小球阵列；

3)制备Ag/TiS₂分层纳米结构。利用真空沉积系统制备Ag/TiS₂分层纳米结构；将制备完成的二维模板放入溅射室。真空度为2×10^-4Pa，工作压强为0.6Pa，气流量为25sccm；Ag的溅射速率为10nm/min，溅射时间为1min；TiS₂的溅射速率为2nm/min，溅射时间为1min～5min；最后我们制备得到SPR在近红外区的Ag/TiS₂表面增强拉曼散射活性基底。

3.根据权利要求2所述的SPR在近红外具有强SERS活性的Ag/TiS₂分层复合基底的制备方法，其特征在于，步骤1)的具体步骤为：

将硅片并放入烧杯中，在烧杯中分别加入体积比为1:2:6的氨水、过氧化氢和去离子水的混合溶液中。将烧杯放在烤焦台上加热至沸腾，并保持5～10min，冷却后将液体倒出，依次用去离子水，无水乙醇反复超声15min。

4.根据权利要求2所述的SPR在近红外具有强SERS活性的Ag/TiS₂分层复合基底的制备方法，其特征在于，步骤2)的具体步骤为：

直径200nm聚苯乙烯小球和无水乙醇的按照体积比为1:1混合，再通过超声处理使聚苯乙烯小球均匀分散，用移液枪将聚苯乙烯小球分散液滴在大块的硅片，使分散液均匀分布在硅片上，将大硅片缓慢倾斜的滑入液面平稳的器皿中，在水面上形成密排的聚苯乙烯小球阵列，最后用清洗后的硅片将浮在水面上的小球阵列缓慢的捞起来，吸水干燥后备用。

5.根据权利要求2所述的SPR在近红外具有强SERS活性的Ag/TiS₂分层复合基底的制备方法，其特征在于，TiS₂的溅射时间为1min。