[发明专利]一种光电探测产品键合涂丝工艺有效

专利信息
申请号: 201910871848.4 申请日: 2019-09-16
公开(公告)号: CN110571307B 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 朱赛宁;张世权;王涛;潘建华 申请(专利权)人: 无锡中微晶园电子有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/02;H01L31/0203;H05K3/30
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 曹祖良
地址: 214028 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 光电 探测 产品 键合涂丝 工艺
【权利要求书】:

1.一种光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,包括以下步骤:

(a) X射线探测器进行装片,在PCB板上涂覆厚度为20~50μm的导电胶;

(b)将单通道漏电小于10pA的光敏二极管阵列芯片通过导电胶粘连到PCB板表面,并进行高温固化;

(c)使用0.8~1.3mil硅铝丝键合,将光敏二极管阵列芯片与PCB板进行电连接,保证弧高>300μm,键合拉力>5g;

(d)在上述硅铝丝上使用特定胶水A进行逐个点胶,点胶位置中心为键合点,点胶的长×宽=(1±0.2)mm*(3±0.3)mm;

(e)将尺寸为(25.5±0.5)mm*(4±0.3)mm的晶体粘接到芯片表面并固化;

(f)采用特定胶水B进行条状涂胶,涂覆住步骤(d)的点胶胶点,并填充晶体、芯片及PCB板之间的空隙,其后进行胶水固化;

(g)对上述PCB板进行排针焊接,即得到产品;

(h)测试成品的电性能并做可靠性筛选;

步骤(d)中所述胶水A的热膨胀系数30ppm,粘度为50000~60000cPs,肖氏硬度为65~100 HS,体积电阻率7×1014~5×1015Ω·cm;

步骤(f)中所述胶水B满足以下条件:45ppm胶水热膨胀系数100ppm,粘度6000~7000cPs,吸水率+0.12%~+0.56%,透光率>92%。

2.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(a)中在所述PCB板上进行沉金工艺处理,金的厚度为1~2μm。

3.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(b)中所述高温固化在N2气氛下进行,固化温度为140~160℃。

4.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(g)中使用电烙铁对所述PCB板进行排针焊接,电烙铁温度≤350℃。

5.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(h)中使用正反向测试设备对所述成品进行性能测试,单通道漏电<50pA。

6.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(f)与步骤(d)中的胶水点胶应力相反。

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