[发明专利]一种光电探测产品键合涂丝工艺有效
申请号: | 201910871848.4 | 申请日: | 2019-09-16 |
公开(公告)号: | CN110571307B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 朱赛宁;张世权;王涛;潘建华 | 申请(专利权)人: | 无锡中微晶园电子有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/02;H01L31/0203;H05K3/30 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光电 探测 产品 键合涂丝 工艺 | ||
1.一种光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,包括以下步骤:
(a) X射线探测器进行装片,在PCB板上涂覆厚度为20~50μm的导电胶;
(b)将单通道漏电小于10pA的光敏二极管阵列芯片通过导电胶粘连到PCB板表面,并进行高温固化;
(c)使用0.8~1.3mil硅铝丝键合,将光敏二极管阵列芯片与PCB板进行电连接,保证弧高>300μm,键合拉力>5g;
(d)在上述硅铝丝上使用特定胶水A进行逐个点胶,点胶位置中心为键合点,点胶的长×宽=(1±0.2)mm*(3±0.3)mm;
(e)将尺寸为(25.5±0.5)mm*(4±0.3)mm的晶体粘接到芯片表面并固化;
(f)采用特定胶水B进行条状涂胶,涂覆住步骤(d)的点胶胶点,并填充晶体、芯片及PCB板之间的空隙,其后进行胶水固化;
(g)对上述PCB板进行排针焊接,即得到产品;
(h)测试成品的电性能并做可靠性筛选;
步骤(d)中所述胶水A的热膨胀系数30ppm,粘度为50000~60000cPs,肖氏硬度为65~100 HS,体积电阻率7×1014~5×1015Ω·cm;
步骤(f)中所述胶水B满足以下条件:45ppm胶水热膨胀系数100ppm,粘度6000~7000cPs,吸水率+0.12%~+0.56%,透光率>92%。
2.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(a)中在所述PCB板上进行沉金工艺处理,金的厚度为1~2μm。
3.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(b)中所述高温固化在N2气氛下进行,固化温度为140~160℃。
4.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(g)中使用电烙铁对所述PCB板进行排针焊接,电烙铁温度≤350℃。
5.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(h)中使用正反向测试设备对所述成品进行性能测试,单通道漏电<50pA。
6.根据权利要求1所述的光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,步骤(f)与步骤(d)中的胶水点胶应力相反。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡中微晶园电子有限公司,未经无锡中微晶园电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910871848.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种光伏组件的回收方法及系统
- 下一篇:太阳能电池串校正设备及方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的