[发明专利]柔性显示基板及其制备方法、剥离装置在审
申请号: | 201910874058.1 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN110767592A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 黄金艳;张伟 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;G09F9/30 |
代理公司: | 11606 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李红艳 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑板 柔性显示 吸附网 基板 剥离装置 预置 剥离 减小 充气过程 密封空腔 外力作用 保护膜 制备 封闭 | ||
本发明涉及一种柔性显示基板及其制备方法、剥离装置。该剥离装置工作时,可以将粘附有支撑板的预置柔性显示基板置于密封空腔内,并使支撑板与第一吸附网版连接,预置柔性显示基板与第二吸附网版连接。在充气过程中,支撑板的边缘先受第一吸附网版的拉力,支撑板的中心后受第一吸附网版的拉力。因此,使用该剥离装置剥离支撑板时,可以从预置柔性显示基板的封闭边缘开始对支撑板进行逐步剥离,从而减小剥离支撑板时所需的力,减小保护膜在外力作用下脱落的可能性。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种柔性显示基板及其制备方法、剥离装置。
背景技术
柔性显示装置是一种基于柔性显示基板制备形成的显示装置。由于柔性显示装置具有可卷曲、宽视角和便于携带的特点,柔性显示装置得到越来越广泛的应用。
传统技术中,柔性显示基板的制备过程通常是在支撑板上形成柔性显示基板,并在柔性显示基板的封装层上贴附保护膜,再先后完成支撑板的剥离和保护膜的剥离。
申请人在实现传统技术的过程中发现:传统的柔性显示基板的制备方法,在进行支撑板的剥离时,保护膜容易与封装层脱落。
发明内容
基于此,有必要针对传统技术中存在的柔性显示基板的制备过程中保护膜容易与封装层脱落的问题,提供一种柔性显示基板及其制备方法、剥离装置。
一种剥离装置,用于柔性显示基板的制备过程中剥离支撑板,包括:
第一吸附网版;
第二吸附网版,与第一吸附网版相对设置;
密封结构,设于所述第一吸附网版和所述第二吸附网版之间,以使所述第一吸附网版、第二吸附网版和密封结构围合形成密封空腔,所述密封结构还开设有进气口,用于向所述密封空腔内通入气体。
上述剥离装置,可以用于柔性显示基板制备过程中支撑板的剥离。该剥离装置工作时,可以将粘附有支撑板的预置柔性显示基板置于密封空腔内,并使支撑板与第一吸附网版连接,预置柔性显示基板与第二吸附网版连接。此时,向密封空腔内通入气体,即可使第一吸附网版和第二吸附网版发生相互远离的形变,从而带动支撑板与柔性显示基板分离。同时,由于在充气过程中,支撑板的边缘先受第一吸附网版的拉力,支撑板的中心后受第一吸附网版的拉力。因此,使用该剥离装置剥离支撑板时,可以从预置柔性显示基板的四周边缘同时开始对支撑板进行逐步剥离,从而减小剥离支撑板时所需的力,减小保护膜在外力作用下脱落的可能性。
一种柔性显示基板的制备方法,包括:
在支撑板上形成预置柔性显示基板;
在所述预置柔性显示基板贴附保护层,所述预置柔性显示基板设置于所述保护层和所述支撑板之间,以形成第一基板;
提供如上所述的剥离装置,将所述第一基板置于所述密封空腔内,且所述支撑板与所述第一壁面连接,所述保护层与所述第二壁面连接;
向所述密封空腔内通入气体,使所述第一吸附网版和所述第二吸附网版向相反方向扩张,以从所述支撑板与所述预置柔性显示基板的接触面的周边同时向中心开始剥离所述支撑板;
剥离所述保护层,以形成柔性显示基板。
上述柔性显示基板的制备方法,在支撑板上形成预置柔性显示基板,在预置柔性显示基板上贴附保护层后,先后剥离了支撑板和保护层。其中,利用上述实施例中的剥离装置,从支撑板与预置柔性显示基板的接触面的周边同时向中心开始剥离支撑板。该柔性显示基板的制备方法,从预置柔性显示基板的周边同时向中心开始对支撑板进行逐步剥离,可以减小剥离支撑板时所需的力,从而减小保护膜在外力作用下脱落的可能性。
一种柔性显示基板,由上述柔性显示基板的制备方法制备形成。
附图说明
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造