[发明专利]具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构

权利要求书

1.一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，包括在工作台上固定设置的X向丝杠导轨副（1），在X向丝杠导轨副（1）上的X向移动平台上设置有Y向丝杠导轨副（2），在Y向丝杠导轨副（2）的Y向移动平台（10）上连接有直接驱动电机，在向上伸出的直接驱动电机的输出轴（11）上连接有旋转吸盘（12），在旋转吸盘（12）上吸附有异形晶片，在旋转吸盘（12）的上方一侧设置有异形晶片轮廓修磨倒角砂轮（17），在异形晶片轮廓修磨倒角砂轮（17）的两侧均设置有冷却水喷嘴（18），在X向丝杠导轨副（1）的四周外侧的工作台上固定设置有晶片轮廓修磨倒角操作盒支架（3），晶片轮廓修磨倒角操作盒支架（3）上固定设置有中空的回字形台板（4），其特征在于，在回字形台板（4）的前侧台面上设置有前侧X向倒L形导轨（20），在回字形台板（4）的后侧台面上设置有后侧X向倒L形导轨（21），前侧X向倒L形导轨（20）与后侧X向倒L形导轨（21）是彼此平行设置的，在前侧X向倒L形导轨（20）的左部与后侧X向倒L形导轨（21）的左部之间活动设置有左部X向伸缩弹性皮腔（6），在前侧X向倒L形导轨（20）的右部与后侧X向倒L形导轨（21）的右部之间活动设置有右部X向伸缩弹性皮腔（7），在左部X向伸缩弹性皮腔（6）的右端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8），在右部X向伸缩弹性皮腔（7）的左端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的前部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的前部之间活动设置有前部Y向伸缩弹性皮腔（14），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的后部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的后部之间活动设置有后部Y向伸缩弹性皮腔（13），在前部Y向伸缩弹性皮腔（14）的后侧面与后部Y向伸缩弹性皮腔（13）的前侧面之间连接有Y向移动平台（10），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的前端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的前端之间固定连接有前端安装板（16），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的后端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的后端之间固定连接有后端安装板（15），在前侧X向倒L形导轨（20）和后侧X向倒L形导轨（21）的外侧四周的回字形台板（4）上设置有长方形框架（5），在长方形框架（5）上分别设置有排水口和箱内湿气抽吸口（19）。

2.根据权利要求1所述的一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，其特征在于，在左部X向伸缩弹性皮腔（6）的前侧下端设置有倒L形导轨前端安装凹槽（22），在左部X向伸缩弹性皮腔（6）的后侧下端设置有倒L形导轨后端安装凹槽（23），前侧X向倒L形导轨（20）设置在倒L形导轨前端安装凹槽（22）中，后侧X向倒L形导轨（21）设置在倒L形导轨后端安装凹槽（23）中。