[发明专利]一种磁密封旋转接头及具有该结构的OLED基板蚀刻机在审
申请号: | 201910874710.X | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN110783496A | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 蒋新;王涛;窦福存;陈国才;施利君;田丹女 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/67 |
代理公司: | 32276 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 项丽 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转段 磁铁片 连接段 喷管 旋转接头 磁密封 供给管 固定座 连接座 蚀刻机 进液 腔体 外接 蚀刻 工作稳定性 密封作用 内侧端面 药液渗漏 可转动 内侧壁 内侧端 喷洒管 喷胶 贴合 静止 配合 吸引 | ||
1.一种磁密封旋转接头,包括外部的固定座,所述固定座的中部具有沿其轴线方向贯通的腔体,所述腔体中穿设有喷管连接座,所述喷管连接座整体呈管状,包括相分离的连接段和旋转段,所述连接段外接进液供给管,所述旋转段外接喷洒管,所述连接段固定在所述腔体的一端且与所述固定座固定连接,所述旋转段插设在腔体中并与所述腔体的内侧壁间可转动地配合,所述旋转段的内侧一端位于所述腔体内并且端面与所述连接段的内侧端面相接触,所述旋转段的另一端从所述腔体穿出,其中,所述旋转段的内侧一端处沿其外缘周向上设置有第一环形固定槽,所述第一环形固定槽内埋设有环状的第一磁铁片,所述连接段的内侧端处沿其外缘周向上设置有第二环形固定槽,所述第二环形固定槽内埋设有环状的第二磁铁片,所述第一磁铁片与所述第二磁铁片沿喷管连接座的轴线方向平行设置,所述第一磁铁片与所述第二磁铁片相吸引使得所述旋转段的内侧一端端面与所述连接段的内侧端面贴合。
2.根据权利要求1所述的磁密封旋转接头,其特征在于,所述连接段的外侧端的内部设置有O形圈,用于密封压紧所述进液供给管。
3.根据权利要求1所述的磁密封旋转接头,其特征在于,所述旋转段的内侧一端处设置有第一耐磨环,所述连接段的内侧端设置有第二耐磨环,所述第一耐磨环与所述第二耐磨环同轴设置且端面贴合在一起,所述第一耐磨环可绕所述第二耐磨环表面转动。
4.根据权利要求3所述的磁密封旋转接头,其特征在于,所述第一耐磨环的一端插设在所述旋转段中,并与所述旋转段的内侧壁间通过第一密封圈密封固定。
5.根据权利要求3所述的磁密封旋转接头,其特征在于,所述第二耐磨环的一端插设在所述连接段中,并与所述连接段的内侧壁间通过第二密封圈密封固定。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的磁密封旋转接头,其特征在于,在所述第一耐磨环的外侧设置有第一磁铁固定片,所述第一磁铁固定片卡设在所述第一耐磨环与所述固定座的内壁之间,所述第一磁铁片设置在所述第一磁铁固定片内,并且所述第一磁铁固定片与所述第一耐磨环的外侧相固定,所述第一磁铁片与所述第二磁铁片沿喷管连接座的轴线方向平行设置,所述第一磁铁片与所述第二磁铁片相吸引使得所述第一耐磨环与所述第二耐磨环的内侧端面贴合。
7.根据权利要求3至5中任一项所述的磁密封旋转接头,其特征在于,在所述第二耐磨环的外侧设置有第二磁铁固定片,所述第二磁铁固定片卡设在所述第二耐磨环与所述固定座的内壁之间,所述第二磁铁片设置在所述第二磁铁固定片内,并且所述第二磁铁固定片与所述第二耐磨环的外侧相固定,所述第一磁铁片与所述第二磁铁片沿喷管连接座的轴线方向平行设置,所述第一磁铁片与所述第二磁铁片相吸引使得所述第一耐磨环与所述第二耐磨环的内侧端面贴合。
8.根据权利要求3所述的磁密封旋转接头,其特征在于,所述第一耐磨环和第二耐磨环采用聚四氟乙烯或者高分子聚乙烯制成。
9.一种OLED基板蚀刻机,包括喷洒药液用的喷管摆动机构,其特征在于,所述喷管摆动机构包括磁密封旋转接头,所述磁密封旋转接头的一端保持静止,用于外接进液供给管,另一端可旋转,用于外接喷洒管,所述磁密封旋转接头采用如权利要求1至8中任一项所述的结构。
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