[发明专利]一种磁密封旋转接头及具有该结构的OLED基板蚀刻机

说明书

本发明涉及一种磁密封旋转接头及具有该结构的OLED基板蚀刻机，磁密封旋转接头包括固定座，固定座的中部穿设有喷管连接座，喷管连接座呈管状，包括连接段和旋转段，连接段外接进液供给管，旋转段外接喷洒管，旋转段插设在腔体中并与腔体的内侧壁间可转动地配合，旋转段的内侧一端处沿其外缘周向上埋设有第一磁铁片，连接段的内侧端处沿其外缘周向上埋设有第二磁铁片，第一磁铁片与第二磁铁片相吸引使得旋转段的内侧一端端面与连接段的内侧端面贴合。本发明能够在喷管旋转动过程中仍维持进液供给管静止，同时起到密封作用，采用这一磁密封旋转接头作为喷胶蚀刻中的接头，能够提高具有该结构的OLED基板蚀刻机的工作稳定性，防止药液渗漏。

技术领域

本发明涉及一种平板加工设备技术领域，具体涉及一种磁密封旋转接头及具有该结构的OLED基板蚀刻机。

背景技术

在OLED基板制程工艺中喷胶蚀刻是必不可少的一个步骤，其中所使用的药液需要按照特定比例进行混合制成，然后药液通过设备均匀喷淋在OLED基板表面，为达到玻璃基板表面刻蚀的均匀性，需使用到喷管摆动机构，在喷淋过程中就需要接头来对接进液管与喷管，而喷管在摆动过程中要使得进液供给管须保持静止，保证药液顺利供给，但是现有结构中无此类接头能够在解决上述问题的同时保证管路气密性。

发明内容

本发明目的是要提供一种磁密封旋转接头，能够在喷管旋转动过程中仍维持进液供给管静止，同时起到密封作用，工作稳定性好。

进一步地，采用这一磁密封旋转接头作为喷胶蚀刻中的接头，能够提高具有该结构的OLED基板蚀刻机的工作稳定性，防止药液渗漏。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

本发明提供了一种磁密封旋转接头，包括外部的固定座，所述固定座的中部具有沿其轴线方向贯通的腔体，所述腔体中穿设有喷管连接座，所述喷管连接座整体呈管状，包括相分离的连接段和旋转段，所述连接段外接进液供给管，所述旋转段外接喷洒管，所述连接段固定在所述腔体的一端且与所述固定座固定连接，所述旋转段插设在腔体中并与所述腔体的内侧壁间可转动地配合，所述旋转段的内侧一端位于所述腔体内并且端面与所述连接段的内侧端面相接触，所述旋转段的另一端从所述腔体穿出，其中，所述旋转段的内侧一端处沿其外缘周向上设置有第一环形固定槽，所述第一环形固定槽内埋设有环状的第一磁铁片，所述连接段的内侧端处沿其外缘周向上设置有第二环形固定槽，所述第二环形固定槽内埋设有环状的第二磁铁片，所述第一磁铁片与所述第二磁铁片沿喷管连接座的轴线方向平行设置，所述第一磁铁片与所述第二磁铁片相吸引使得所述旋转段的内侧一端端面与所述连接段的内侧端面贴合。

对于上述技术方案，申请人还有进一步地优化措施。

进一步地，所述连接段的外侧端的内部设置有O形圈，用于密封压紧所述进液供给管。

进一步地，所述旋转段的内侧一端处设置有第一耐磨环，所述连接段的内侧端设置有第二耐磨环，所述第一耐磨环与所述第二耐磨环同轴设置且端面贴合在一起，所述第一耐磨环可绕所述第二耐磨环表面转动。

进一步地，所述第一耐磨环的一端插设在所述旋转段中，并与所述旋转段的内侧壁间通过第一密封圈密封固定；所述第二耐磨环的一端插设在所述连接段中，并与所述连接段的内侧壁间通过第二密封圈密封固定。

更进一步地，在所述第一耐磨环的外侧设置有第一磁铁固定片，所述第一磁铁固定片卡设在所述第一耐磨环与所述固定座的内壁之间，所述第一磁铁片设置在所述第一磁铁固定片内，并且所述第一磁铁固定片与所述第一耐磨环的外侧相固定，所述第一磁铁片与所述第二磁铁片沿喷管连接座的轴线方向平行设置，所述第一磁铁片与所述第二磁铁片相吸引使得所述第一耐磨环与所述第二耐磨环的内侧端面贴合。