[发明专利]氯硅烷净化装置及其净化方法

权利要求书

1.氯硅烷净化装置，其特征在于，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储器包括存储进口和存储出口，所述过滤器包括过滤进口、过滤出口和过滤排放口，所述废液收集器包括废液进口，所述汽化器包括原料进口、原料出口、热工质进口、热工质出口和残液排放口；

所述存储出口与所述过滤进口连通，所述过滤出口与所述原料进口连通，所述过滤排放口和残液排放口均与所述废液进口连通；

所述汽化器设置有汽化腔和热工质通道，所述汽化腔与所述热工质通道相隔绝，所述汽化腔的进口和出口分别为所述原料进口和原料出口，所述热工质通道的进口和出口分别为所述热工质进口和热工质出口，所述残液排放口与所述汽化腔相通。

2.如权利要求1所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述存储进口设置有存储控制阀，所述过滤进口设置有第一控制阀，所述过滤出口设置有第二控制阀，所述过滤排放口设置有反洗控制阀，所述热工质进口设置有热工质控制阀，所述残液排放口设置有残液控制阀。

3.如权利要求1所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述汽化器包括内壁和外壁，所述内壁和外壁之间存在间隙，所述热工质通道包括所述内壁和外壁之间的间隙形成的通道，所述热工质进口和所述热工质出口开设在所述外壁上，所述内壁内侧形成所述汽化腔，所述原料进口和所述原料出口开设在所述内壁上，所述原料进口和所述原料出口的壁体穿过所述外壁。

4.如权利要求3所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述汽化器还包括热工质管道，所述热工质管道从所述外壁穿至汽化腔，再从所述汽化腔穿至外壁，所述热工质通道包括所述热工质管道形成的通道，所述热工质进口包括所述热工质管道的进口，所述热工质出口包括所述热工质管道的出口。

5.如权利要求3所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述内壁上设置有导热板，所述导热板向所述汽化腔中心延伸，且所述导热板朝下设置，与内壁之间形成锐角，所述导热板呈螺旋状盘旋设置在所述内壁上，或呈圆环形且多层间隔设置在内壁上。

6.如权利要求1至5任一项所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述过滤器内部过滤网材料，选择耐氯硅烷腐蚀的微孔过滤纤维。

7.如权利要求1至5任一项所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述过滤器至少设置有两个，每个所述过滤器的过滤进口分别与所述存储出口连接，两个所述过滤器形成并联。

8.如权利要求1至5任一项所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述汽化器至少设置有两个，第一个所述汽化器的原料进口与所述过滤出口连通，第一个所述汽化器的原料出口与第二个所述汽化器的原料进口连通。

9.氯硅烷净化方法，其特征在于，包括如下步骤：

氮气和氯硅烷原料通过存储进口输进存储器；

存储器内氯硅烷经过存储出口从过滤进口流入过滤器，氯硅烷在过滤器内过滤，将固体颗粒物和悬浮物杂质大部分去除；

经过滤后的氯硅烷从过滤出口流出，经原料进口流入汽化器的汽化腔，热工质通过热工质进口导入热工质通道，热工质与氯硅烷原料在汽化器内进行热交换，氯硅烷原料部分汽化，汽化后的氯硅烷经过原料出口排出，氯硅烷完成净化；

过滤器和汽化器内的残留液以及杂质分别通过过滤排放口和残液排放口排出，经过废液进口流入到废液收集器内收集。

10.如权利要求9所述氯硅烷净化方法，其特征在于，所述热工质为蒸汽或导热油，所述蒸汽或导热油的通过控温，高于预汽化氯硅烷沸点的20℃至150℃。