[发明专利]一种用于光刻设备的非接触式超声清洗装置在审
| 申请号： | 201910879546.1 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110560424A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 岳力挽;顾大公;毛智彪;马潇;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31333 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李萍 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市北仑*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗装置 清洗液循环装置 出水口 导轨 支架 超声清洗装置 机械设备领域 超声发生器 边缘设置 导轨连接 非接触式 光刻设备 气浮装置 中央设置 可移动 吸水口 挂片 外围 | ||
1.一种非接触式超声清洗装置，其特征在于，包括清洗装置、支架、导轨和气浮装置；所述清洗装置中央设置有清洗液循环装置；所述清洗液循环装置上设置有中心位置的出水口和设置在外围的吸水口；所述出水口周围设置有超声发生器；所述清洗装置边缘设置有所述气浮装置；所述导轨设置在所述支架上；所述清洗装置通过可移动挂片与所述导轨连接。
2.如权利要求1所述的非接触式超声清洗装置，其特征在于，所述非接触式超声清洗装置还设置有气体循环装置。
3.如权利要求2所述的非接触式超声清洗装置，其特征在于，所述气体循环装置设置在所述清洗液循环装置的吸水口与气浮装置之间。
4.如权利要求3所述的非接触式超声清洗装置，其特征在于，所述气体循环装置上设置有向内方向的进气口和竖直方向的出气口。
5.如权利要求1所述的非接触式超声清洗装置，其特征在于，所述清洗装置上设置有砝码。
6.如权利要求1所述的非接触式超声清洗装置，其特征在于，所述导轨通过旋转支柱与所述支架连接。
7.如权利要求6所述的非接触式超声清洗装置，其特征在于，所述可移动挂片通过移动装置与所述导轨连接。
8.如权利要求1所述的非接触式超声清洗装置，其特征在于，所述导轨包括横向导轨和纵向导轨；所述横向导轨固定设置在所述支架上；所述纵向导轨通过移动装置设置在所述横向导轨上。
9.如权利要求7或8所述的非接触式超声清洗装置，其特征在于，所述移动装置为卡槽式移动装置、滑动式移动装置或滚动式移动装置。
10.如权利要求1～9任意一项所述的非接触式超声清洗装置在光刻设备清洗工艺中的应用。
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